基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究

介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5%。     

一种基于FBAR技术的5.5GHz滤波器芯片的研制

报道了一种工作于5.5GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片。首先制作了一种串联谐振频率为5.5GHz的谐振器,采用该谐振器模型设计并实现了5.5GHz FBAR滤波器芯片。微波探针测试结果显示,中心插损为1.68d B,1d B带宽105MHz,5.3GHz处抑制为39.66d Bc,5.7GHz处抑制为48.42d Bc。实现了5.5GHz窄带滤波器的芯片化。     

8～12μm红外图像生成装置

介绍了一种将可见光图像转换为红外图像的装置.装置的核心器件是利用MEMS工艺制作的可见光/红外图像转换芯片.红外图像生成装置包括可见光图像生成系统、可见光/红外图像转换系统以及红外图像投影光学系统三部分.红外图像生成装置产生的红外图像辐射波段覆盖8~12μm,分辨率达到了20 lp/mm,可模拟温度范围为20~150℃,图像非均匀性小于5%,几何畸变小于3%.     

基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究

介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5%。