一种新型SAW气体传感器的设计

提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要从SAW专用芯片的研制、专用纳米线研制、专用纳米线的表面修饰与改性研究、检测电路设计等4方面进行了阐述。理论计算表明,相比传统二维结构的SAW气体传感器,三维纳米线结构的SAW气体传感器的在灵敏度和响应速度上都得到提高。     

磷化镓声光偏转器

该文介绍了一种利用磷化镓(GaP)晶体制作的宽带声光偏转器。该器件采用准超声跟踪结构设计,大幅提高了换能器工作的总长度,实现了带宽与衍射效率的合理兼顾。制作出声光偏转器样品3dB带宽达900MHz,峰值衍射效率达8%@1W,衍射光在声光介质外的动态扫描角为5.2°。在试验过程中发现了异常现象,在1级衍射光斑与2级衍射之间出现了多余的衍射光斑("假点"),形成的机理还有待研究。     

小动物PET成像用LYSO闪烁晶体阵列研究

小动物正电子发射断层技术(PET)成像较人体PET成像,对空间分辨率和灵敏度提出了更高的要求,进而促进了小动物PET用闪烁阵列制备工艺的发展。硅酸钇镥(LYSO)晶体具有高密度,高有效原子系数,响应时间短等优点,是一种极具发展潜力的新型闪烁晶体材料。该文提出一种以LYSO闪烁晶体阵列的制作方法,采用提拉法实现大尺寸闪烁晶体LYSO的生长;运用化学机械抛光法对切割后晶条进行全局平坦化抛光处理;利用自制高精度夹具组装单根晶条至阵列形式,最终制作成可应用于小动物PET的LYSO闪烁晶体阵列。     

利用ICP设备制备图形化蓝宝石基底的工艺控制

该文对利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀设备来制作图形化蓝宝石基底(PSS)的工艺控制进行了研究。在工艺制作过程中,选用了C轴(0001)取向的100 mm蓝宝石平片作为实验样品,通过光刻工艺和ICP刻蚀工艺控制,制作出了具有圆锥状图形结构的图形化蓝宝石基底。借助扫描电子显微镜,对该图形化蓝宝石基底进行了测量和分析。测量结果显示,基底表面上的单粒圆锥状图形结构的底部直径为(3.45±0.25) μm,刻蚀高度/深度为(1.75±0.25) μm,整个图形化蓝宝石基底成品片的均匀性控制在3%以内。     

气流检测用PVDF超声传感器有限元仿真

针对气流检测对超声传感器提出的高频指向性的需求特点,以聚四氟乙烯(PVDF)超声传感器中敏感元件PVDF圆膜作为研究对象,利用有限元法建立了模型,并模拟了其电学和声学性能。分析了薄膜厚度和直径对声学性能参数的影响,并对变化规律进行了讨论。     

基于SAW技术的扩频信号解扩解调模块设计

介绍了一种基于声表面波技术的扩频信号解扩解调模块的工作原理、模块设计和测试结果。与数字相关器解扩相比,利用声表面波匹配滤波器解扩具有高处理速度和大处理带宽的特点,特别是在实时处理中具有绝对优势。同时,模块采用限幅放大技术可实现信号的大动态范围和高灵敏度接收。     

BAW气流信息检测专用信号处理技术研究

研究了体声波(BAW)气流信息检测专用信号处理系统的3个关键技术。首先,改进了采用MOSFET驱动电路提供激励信号的方式,改善了抖动和拖尾现象;其次,设计了专用的匹配网络,实现了阻抗匹配、调谐和滤波;最后,设计和实现了3种测时算法,并通过实验比较了3种算法的优劣。     

ST-石英的湿法腐蚀工艺研究

对影响ST-切向石英表面湿法腐蚀质量的因素进行了试验研究,并对结果进行了详细分析。试验基片材料为双面抛光的ST-切向石英晶体,掩蔽膜材料为Cr/Au双层金属膜,腐蚀液为HF和NH4F的混合溶液;主要研究了基片清洗、腐蚀液成分配比及腐蚀温度等工艺参数对基片表面腐蚀质量的影响,并通过选择最佳的试验参数,以约0.7μm/min的适中腐蚀速率加工出了满足要求的晶体表面。     

一种宽带吸收式SPDT开关的设计与实现

射频开关作为微波通信系统的一种关键部件,广泛应用于各种军用电子系统中。该文详细介绍了一种基于PIN二极管的单刀双掷开关的设计技术和实现方法,测试结果表明,该开关在2⁸GHz频率范围内,插入损耗小于2.2dB,隔离度大于70dB。     

2-2型多基元压电复合陶瓷圆管研究

该文分析并制作了2-2型压电复合陶瓷圆管,陶瓷圆管由180条等分陶瓷基元组成,基元间通过复合材料进行连接。陶瓷圆管采用轴向精密切割工艺,该圆管具有几何尺寸大,基元多,轴向与径向振动相互干扰小,切割工艺精密等特点。研究表明,2-2型压电复合陶瓷圆管与纯压电陶瓷圆管相比,具有在工作频带内模态单一,寄生响应得到了有效抑制等优点,可广泛应用于多波束测深发射阵列的研制。