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1.
基于LVDT的微小位置测量系统设计   总被引:2,自引:1,他引:1  
给出一种基于线性可调差动变压器(LVDT)的微小位移测量系统。系统以DSP为核心处理器完成对差动变压器输出数据的采集,并对数据进行数字滤波处理和分析得到待测微小位移。测试结果表明本设计的测量精度达到0.1 mm,满足测量铜钢复合钢板国标标准的要求。系统适当修改便可应用于旋转式小型、线形、薄片形精密零件的非接触式无损位移测量。  相似文献
2.
数字激光散斑的L型梯度位移检测法   总被引:1,自引:0,他引:1  
宫婷  郭立 《光电子技术》2007,27(2):115-118,134
利用数字激光散斑图像测量物体的形变和微小位移是一种新兴的非接触测量方法,为提高这种测量方法的速度及精度,提出一种针对数字散斑图像的L型梯度位移检测法.该方法将现有的梯度算法扩展到二维空间并做变形,对散斑图像进行梯度运算,测量出位移.大量实验证明,上述算法可行,能够精确测出微小位移,且运算速度较快.  相似文献
3.
提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。考虑到光纤出射光束的发散,在有效反射率中引入了损耗因子,讨论了它的基本工作原理。为了提高测量精度和最小可探测距离,光纤控头固定在一个PZT上作可控调制。用屯喇叭膜片在多种驱动条件下的运动状态2,进行了数据处理和讨论。  相似文献
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