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1.
以激光在粗糙物体表面的散射理论为基础.详细讨论了被测表面倾斜与激光三角位移计接收光功率的关系,在此基础上提出了在测位移的同时测量该倾斜角的方法.给出了计算机模拟及实测的结果。  相似文献
2.
提高激光三角法测量精度的新方法   总被引:4,自引:0,他引:4  
激光三角法是一种几何测量的重要方法,目前已广泛用于测量位移和三维面形,但这测量系统的测量精度不高,一个主要的问题就是光源光强不稳定;本文提出用光学双稳装置来稳定激光光泊的光强,并用于测量金属板材,实验结果:将光学双稳装置用于激光三角法使系统的测量精度大大提高。  相似文献
3.
一种关于大位移激光三角法测量参数标定方法的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
本文介绍了怎样用逼近法来标定激光三角法测大位移中的参数,逼近法是基于最小二乘法原理,标定参 数精确性高.  相似文献
4.
激光三角法测量技术在光刻机中的应用   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了激光三角法测量原理和分类,对不同类型进行了分析比较。介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式。在应用中可以针对不同的测量对象表面的光学特征,使用对应的表格,提高其测量的适应性和测量效率。  相似文献
5.
在实际测量中,由于光斑具有一定尺寸和不对称性,在很大程度上影响了位置敏感探测器(PSD)的定位精度.根据激光光束高斯能连续分布的特征,建立了一种三线PSD定位模型,可以根据光斑的形状解算出该光斑特征状态下的定位误差.实验验证了该PSD定位模型的有效性.在激光三角测量法中采用该定位模型可以很好地补偿由于光斑自身不均匀性、传输过程中光斑尺寸变化以及激光与待测物体互作用产生的散斑所引入的定位误差,有效提高测量精度.实验中可以补偿的误差达到0.07 mm.  相似文献
6.
基于线结构光的三维测量系统关键技术研究   总被引:3,自引:3,他引:0  
提出了一种基于线激光、工业相机 、步进电机和 计算机的结构光的单目视觉三维扫描测量系统,阐述了其工作原理,建立几何数学模型,搭 建了系统试验平台,并基于灰度平方加权重心法提取光条中心。实验结果表明, 系统测量误差小于±0.03mm,光条中心提取精度达到亚像素级,满 足工业测量应用需求。  相似文献
7.
光学成像检测设备的快速自动对焦是基于机器视觉快速缺陷检测的关键,为了解决检测过程中不同倍数物镜景深(0.5~91μm)跨度大以及被检测物体振动给快速对焦造成的影响等问题,提出了基于激光三角法的显微镜离焦在线检测及补偿方法。该方法利用激光三角法进行离焦量和离焦方向的快速探测,使用由行程100μm的压电陶瓷和行程25 mm直流电机构成的宏微双驱动结构协同控制完成大范围对焦任务。实验结果表明,构建的宏微结构对焦方式可以在0.4 s内实现高倍物镜±0.5μm景深至低倍物镜±91μm景深大范围的快速自动对焦,并实现被检测物体±3μm振动范围的快速自动跟随对焦。该方法满足了新一代薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD)工业检测装备对自动化对焦范围、速度和精度的要求,同时可应用在平板显示器(FPD)检测、线路板检测、生物医学和自动机器装配等领域。  相似文献
8.
非接触测量在轮对参数检测技术的应用   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张志峰  高岩  任宇芬  苏展 《激光与红外》2010,40(10):1125-1130
轮对作为铁路车辆重要的走行部件,对于铁路的安全运输起着关键性的作用。因此准确地检测出车轮轮对的几何参数非常重要。测量原理基于线激光标定的轮对参数测量方法,系统采用传统的三角法测量原理,利用一个面阵CCD(charge-coupled device)摄像机,获取来自被照射部分车轮表面“散射”光图像,通过图像处理,能够快速获取轮对轮辋厚度参数。而标定方法的选取对于现场的测量至关重要,通过比较选择简易快捷的一种标定方法,经现场实验研究表明,该轮对参数测量方法具有检测速度快、在线实时测量的优点。  相似文献
9.
在线式旋翼挥舞角测量   总被引:1,自引:0,他引:1  
直升机旋翼挥舞角是反映直升机性能、飞机品质的重要变量之一。旋翼挥舞角测量利用了激光三角法测量原理,激光器发出的光照射到旋翼表面产生漫反射,漫反射光线经过透镜汇聚到光电位置传感器(PSD)上形成“光点”,光点随旋翼位置变化而变化,PSD上的光点位置信号经光纤传送到单片机系统,通过处理显示挥舞角的角度。  相似文献
10.
激光三角法板材在线测厚系统设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
叙述了激光三角法测厚的原理,对板材在线测厚系统进行了硬件设计和软件设计并给出了系统测量指标。  相似文献
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