测量精度达3.2nm的在线表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统

介绍了用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪整机的信号处理系统,着重讨论了其中的两项关键技术,即利用负反馈构成的宽动态范围测量信号的自动电压控制以及依据计大数和测小数相结合的高精度动态相位测量,系统的测量精度达２．６°（相当于３．２ｎｍ）,允许测量中最大多普勒频移±１０ｋＨｚ（对应高度的变化率±８．７５×１０＾－３ｍ／ｓ）完全满足磨床加工中表面粗糙度在线测量的要求。现场测试证实了这一点,这对     

Laser interferometer system for metrology and machine tool applications

This paper describes a recently introduced laser measurement system based on a new HeNe laser tube. Design principles of laser tube cavity length control, frequency stability measurements, and the limits to measurement resolution extension will be discussed.     

流体物理研究所的高速光学技术

本文阐述了高速摄影技术、光谱测温、激光干涉测速和脉冲 X射线摄影的实时光电记录等光学测试技术在中物院流体物理研究所的发展和应用现状。被研究的测试对象均是瞬时高速过程 ,具有时空分辨的要求 ,其时间分辨本领在 ms至 ns范围内     

面阵探测器对风云四号大气垂直探测仪的影响

进行大气科学研究的傅里叶变换光谱仪,必须具备高分辨率、高准确度的精细光谱才能对温度、压力和浓度等物理量进行反演。干涉仪中光线的离轴效应使仪器光谱函数发生变化。采用直接计算干涉调制函数的方法,研究了面阵探测器各个探测元离轴位置对光谱函数形状的影响;针对干涉仪使用的16×4元面阵探测器,模拟探测元不同位置的光谱函数参量的特性,结果将在仪器光谱定标中得到应用。     

摆角铣头的动态误差及补偿技术

介绍了摆角铣头定位精度和重复定位精度的定义以及发生动态误差的原因。同时也介绍了定位精度和重复定位精度的检测原理方法以及检测工具,检测的最终目的是更好地对机构本身进行补偿使之提高自身精度。     

A low cost laser interferometer system for machine tool applications

A compact low-cost laser interferometer system for measuring linear displacements with sub-micrometer resolution is described and first performance evaluations reported. The four-photo-diode detectors system can also provide a sensitive, simultaneous indication of straightness in two axes     

Problems regarding linearity of data of a laser interferometer with a single-frequency laser

In this paper, the main causes of scale nonlinearity of a laser interferometer with a single-frequency laser and a quadrature fringe detection system are described. The primary causes of scale nonlinearity are quadrature phase shift error and imperfect optical elements in the interferometer and detection unit. A method for measuring this nonlinearity with an optical compensator is described. Nonlinearities arising from quadrature phase shift error, unequal amplitudes, and electronic offsets in the detection unit can be compensated by means of a PC program as described herein. By using a differential interferometer with a resolution of 0.3 nm, the nonlinearity compensation was experimentally verified, and by averaging the measured values for 20 s, a linearity better than ±0.5 nm was achieved.     

干涉成象光谱技术

介绍典型的干涉成象光谱仪，包括基于Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪的动镜扫描型，基于横切分束器的无动镜型和基于Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ干涉仪的多光束干涉型等，给出基基本公式并分析其主要特点。     

宽范围大曲率半径数字化非接触测量系统

本文提出了一种新颖的利用激光偏振干涉体系产生非接触的牛顿环并与CCD图像处理技术相结合的测量方法。可测量的曲率半径为1～25m，具有很宽的测量范围；非接触测量不会损坏高精度表面；并可测试任意反向率的凹、凸球面，而测试体系结构却非常紧凑。干涉条纹经计算机数据处理可自动、快速获得测量结果。经误差分析，测量的相对误差△R/R优于0.3%。     

光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差

本文首次将光源波长的光热调制技术用于正弦相位调制干涉仪中,消除了因直接调制激光波长引起的光强度变化对测量的影响,降低了测量误差。