光刻机超精密工件台研究

针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究熏所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统。介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12nm  

用CCII回转器设计梯形结构电流模式滤波器

该文提出一种设计高阶CCⅡ（第二代电流传输器）电流模式滤波器的新方法，即用CCⅡ回转器综合电流模式无源梯形网络的输入导纳，从而设计出高阶电流模式CCⅡ滤波器，用该方法设计出的电路与其它同类电路比较，电路结构简单、所使用的CCⅡ数目少。文中对CCⅡ的非理想特性进行了分析，提出了对CCⅡ的非理想特性进行补偿的方案。文中给出了六阶巴特活斯滤波器的设计举例及补偿前和补偿后的计算机PSPICE仿真结果。  

两类新型多模叠加态光场的二阶不等幂次Nj次方H压缩

根据量子力学的线性叠加原理,构造了两类新型的多模叠加态光场;利用多模压缩态理论,首次详细研究了这两类多模叠加态光场的二阶不等幂次N_j次方H压缩特性.结果发现:在各模场幅幂次N_j不等（全部偶数、全部奇数、部分偶数、部分奇数）的情况下,当各模的初始相位、两态叠加的几率幅以及纵模总数等分别满足一定的条件时,这两类新型的多模叠加态光场总可呈现出周期性变化的、二阶不等幂次的N_j次方H压缩效应,这种纯量子效应说明它们属于多模非经典光场;同时,本文的研究结果还表明,上述两类多模叠加态光场之间存在“相似庄缩”与“压缩简并”现象。  

最少元件的多输入多输出MOCCII电流模式滤波器

本文提出了两种基于MOCCⅡ（多端输出的第二代电流传输器）的多输入多输出的电流模式滤波器。两种电路均由2个MOCCⅡ及4个接地RC元件构成。每一种电路除了实现出单输出的低通、带通、高通、带组、全通电流模式滤波器外，还能实现三种不同类型的具有同时多输出的电流模式滤波器，提出的电路具有很低的无源灵敏度；同时应用基本电流镜技术实现出结构简单的高精度CMOS MOCCⅡ，并对MOCCⅡ及提出的滤流器电路进行了PSICE仿真。  

硅集成电路光刻技术的发展与挑战

从微电子集成电路技术发展的趋势 ,介绍了集成电路技术发展对光刻曝光技术的需求 ,综述了当前主流的DU V光学曝光技术和新一代曝光技术中的 15 7nm光学曝光、13nm EUV曝光、电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光和纳米印制光刻技术的发展状况及所面临的技术挑战 .同时 ,对光学曝光技术中采用的各种分辨率增强技术如偏轴照明 (OAI)、光学邻近效应校正 (OPC)、移相掩膜 (PSM)、硅片表面的平整化、光刻胶修剪 (resist trimm ing)、抗反射功能和表面感光后的多层光刻胶等技术的原理进行了介绍 ,并对不同技术时代可能采用的曝光技术作了展望性的评述  

基于MOCCII多输入单输出n阶电流模式滤波器

提出了一种结构简单的基于MOCCⅡ n阶多输入单输出电流模式滤波器电路。该滤波器电路包含，n 1个有源器件、n个电容及，n 2个电阻，可以产生n阶低通、带通、高通、带阻电流模式滤波器。由于仅依靠改变外部输入电流信号的接入数目和方式来实现不同功能的滤波器，而电路内部结构及器件数目不变，所以该电路便于单片集成。文中对滤波器进行了PSPICE模拟。  

激光二极管抽运声光调Q高重复频率532 nm激光器

实现了重复频率高达105kHz的紧凑的全固态声光(A-O)调Q532nm腔内倍频激光器。激光器使用Nd：YVO4作为激光晶体，Ⅱ类匹配的KTP为倍频晶体，声光器件材料为熔融石英，由自制的声光驱动器驱动，其最大射频输出功率为7．5W，重复频率1Hz～105kHz可调。使用1W的激光二极管(LD)抽运，50kHz重复频率下，得到平均功率达224mW的532nm脉冲激光稳定平均输出，总光-光转换效率高达22．4％。低重复频率下，可以实现脉宽为17．2ns，峰值功率为470W，单脉冲能量为8．1μJ的稳定运转。给出了平均功率与重复频率关系的一般公式，并提出即使是在四能级系统中，有效储能时间也并不等于上能级寿命，理论计算结果与实验结果吻合得很好。  

光刻机的演变及今后发展趋势

微电子技术的发展一直是光刻设备和技术发展与变革的动力。通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战，揭示下一代光刻设备的发展潜力，结合比较极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点，预言将来以极紫外光刻机、电子束曝光机和某种常规光刻机结合，来实现工业需要的各种图形的制备。  

用琼斯传输矩阵法研究二阶偏振模色散的统计特性

利用琼斯传输矩阵法研究了二阶偏振模色散的统计特性。对数值模拟中出现的偏振模色散随步长变化的问题做了相应的修正 ,利用修正后的模型得到了偏振模色散矢量的频率相关特性 ;模拟了偏振模色散值为 2 5ps时二阶偏振模色散的几率分布 ,所得结果与理论结果能够很好地吻合 ;简单地分析了脉宽为 8ps的高斯脉冲在此条件下的展宽情况 ,指出了高阶补偿的必要性。  

基于MOCCII的多环反馈电流模式滤波器的系统设计

本文提出一种n阶多环反馈(multiple-loop feedback)MOCCII(多端输出第二代电流传输器)电流模式滤波器的系统设计方法。用该方法可产生出多种不同结构的n阶多环反馈滤波器,所有n阶滤波器均由n个MOCCII及2n个RC无源元件组成。所产生滤波器的所有RC元件均接地,便于集成。文中还给出了四阶巴特沃斯滤波器的设计举例及PSPICE计算机模拟结果。