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1.
气敏薄膜传感器SnO2:Sb的制备及性能研究   总被引:8,自引:0,他引:8  
利用等离子体化学气相沉积制备了SnO2∶Sb导电薄膜。研究了膜电阻与沉积温度、电极间距及掺杂浓度间依存关系和薄膜阻温特性。测试了薄膜对NO2气体的气敏性,并进行了理论分析。  相似文献   
2.
采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术,在Si(111)单晶衬底上沉积了WOx薄膜,采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(RS),付里叶红外光谱(FT-IR)及透射电镜扫描附件(STEM)对不同条件下沉积的样品进行了结构分析,结果表明,氧分压和沉积温度是决定薄膜结构和成份的主要参数,在沉积温度300℃以上及20Pa氧压下得到了三斜相纳米晶WO3薄膜。  相似文献   
3.
Sol—Gel法制备ZrO2—SnO2薄膜的常温气敏机理   总被引:4,自引:0,他引:4  
根据Sol-Gel工艺制备的ZrO2-SnO2薄膜的气敏性能数据,提出了常温下SnO2(ZrO2)薄膜对H2S的气敏机理模型。根据此模型所得定量分析结果与实验结果一致。  相似文献   
4.
CuO—SnO2纳米晶粉料的Sol—Gel制备及表征   总被引:23,自引:2,他引:21  
不用金属醇盐而以无起始物质,采用Sol-Gek法得到了平均晶粒尺寸为21-22nmCuO掺杂的SnO2粉料;运用X射线衍射(XRD),差热-失重分析(DTA-TG),透射电镜(TEM)及BET比表面(SA)测定等分析手段对粉料进行了表征,实验表明,CuO的掺杂抑制了SnO2晶粒的生长,以无机盐为原料,采用Sol-Gel法制取SnO2(CuO)纳米级晶料是切实可行的,将有利于产业化。  相似文献   
5.
采用传统固相烧结法制备了Pr6O11和V2O5共同掺杂的Bi4Ti3O12铁电陶瓷。XRD分析表明,Pr6O11和少量V2O5的掺杂没有引起材料结构的改变。适当比例Pr6O11的掺杂会使材料的铁电性能有明显的改善,但其电输运特性明显不同于3价稀土离子的掺杂。实验表明,钒掺杂对材料铁电性能的影响主要体现在低电场下,不能简单地以氧空位的变化来解释。配比为Bi3.08Pr0.75Ti2.98V0.02O12的样品的电学性能稳定并且具有较大的剩余极化。  相似文献   
6.
A kinetic Monte Carlo (kMC) simulation is conducted to study the growth of ultrathin film of Co on Cu(001) surface. The many-body, tight-binding potential model is used in the simulation to represent the interatomic potential. The film morphology of heteroepitaxial Co film on a Cu(001) substrate at the transient and final state conditions with various incident energies is simulated. The Co covered area and the thickness of the film growth of the first two layers are investigated. The simulation results show that the incident energy influences the film growth and structure. There exists a transition energy where the interracial roughness is minimum. There are some void regions in the film in the final state, because of the influence of the island growth in the first few layers. In addition, there are deviations from ideal layer-by-layer growth at a coverage from 0 - 2 monolayers (ML).  相似文献   
7.
溅射沉积Cu膜生长的Monte Carlo模拟   总被引:7,自引:0,他引:7  
在本文中,我们建立了一个较完整的基于动力学晶格蒙特卡罗方法的模拟薄膜生长的三维模型,利用该模型我们研究了溅射沉积条件下粒子的沉积角度、沉积速率以及入射能量对Cu膜生长的影响.模拟结果表明Cu膜表面粗糙度会随沉积角度和沉积速率的增大而增大,而相对密度随之减小.模拟的薄膜的三维形貌显示,在薄膜的表面存在着柱状结构,这与实验是相符的.  相似文献   
8.
混合介质有效相对介电系数的逾渗理论计算   总被引:3,自引:0,他引:3  
戴星  刘祖黎  姚凯伦  高翔 《电子学报》1998,26(2):36-40,48
混合介质的有效相对介电系与其各组分的相对介电参数及组分配比的关系,无论是从理论研究还是从工程应用的方面上来看,都是一个重要的课题。以往的理论计算公式所得结果在混合比接近时与实验相差较大,并存在多值的问题。本文从随机无规分布的角度出发,应用逾渗理论,讨论了只有两种组分时的混合介质的有效相对介电系数的计算,得到了有效相  相似文献   
9.
采用脉冲准分子激光沉积(PLD)技术,分别在Si(111)单晶及玻璃基片上外延沉积了具有高a轴(200)取向的CuO掺杂的SnO2薄膜。X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM扫描附件)分析表明:在Si(111)片上沉积,400~500℃退火温度处理的薄膜,只有(200)峰存在;当退火温度升高到600~700℃时,SnO2的其余诸峰相应出现,薄膜呈多晶态,取向度降低,晶粒尺寸变大,晶粒分界明显.在玻璃基片上沉积的薄膜,经400℃低温处理后,(200)取向度很小;随着退火温度的升高,达到500℃时薄膜呈高a轴(200)取向生长,结晶度较好,晶粒分布均匀.  相似文献   
10.
手性材料电磁参量测量方法的理论研究   总被引:9,自引:1,他引:8  
黄全亮  刘祖黎 《计量学报》1997,18(3):222-226
本文从麦克斯韦方程组,边界条件和手性材料的物质方程出发,导出单层平板形手性材料在有,无金属衬底情况下的电磁波的反射,透射关系,进而提出了可同时测量手性材料的复介电常数,复磁导率和复手性参量有的一种新方法。  相似文献   
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