排序方式: 共有84条查询结果,搜索用时 31 毫秒
1.
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 总被引:2,自引:0,他引:2
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。 相似文献
2.
驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度,但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律。通过静水中的I-V特性测试实验,确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流。通过电压—剪应力特性测试实验,验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系,得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度。研究,发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0.2Pa时的灵敏度达到23.8mV/Pa。 相似文献
3.
4.
产品数据管理作为并行工程的使能技术 ,在并行工程实施中起到集成框架的作用 ,实现统一、安全、高效的产品信息和产品过程信息的管理 ,有效地加快产品的开发。结合PDM产品Pro/Intralink(Pro/I)在企业中的实施 ,分析了以Pro/I为集成平台的信息协同环境的建立及其在并行工程中的实际应用模式 ,为PDM技术在企业中的应用提供有益的借鉴和帮助。 相似文献
5.
6.
面向主动流动控制研发了气泡型微致动器及其阵列技术和MEMS合成射流器技术.对气泡型微致动器参与下的飞行器翼面流场进行了数值模拟,并结合翼型开展了风洞实验,研究了气泡型微致动器对气动性能的影响规律.阐述了微型合成射流器及其微流场特性,研究了合成射流抑制失速、提高升力的机理.结果表明,在翼型上对微致动器进行合理布置,采用适当的控制参数,可以实现对翼面绕流的有益主动控制,达到增加升力、改善失速特性等目的. 相似文献
7.
8.
9.
面向产品生命周期的产品信息模型在PDM中的实现 总被引:3,自引:0,他引:3
在讨论产品建模的基础上,根据企业产品开发的实际流程,从产品的功能、原理、结构、制造4个方面出发建立产品信息模型,提出产品类属构型,并结合以项目为核心建立与产品过程相关的信息模型,采用UML技术建立产品信息模型在PDM中的实体关系,文章最后给出了产品类属构型的详细设计。 相似文献
10.
Ni-Cr合金真空钎焊金刚石界面微结构分析 总被引:2,自引:0,他引:2
钎焊单层超硬磨料砂轮极高的结合强度和接近理想的锋利形貌 ,使它在生产应用中显示出传统砂轮无法比拟的优异性能。这种新型超硬磨料砂轮以其卓越的磨削性能必将逐步取代传统单层电镀砂轮。本文在真空炉中用钎焊的方法 ,用Ni Cr合金钎料 ,适当控制钎焊温度、保温时间和冷却速度 ,实现了金刚石与钢基体的高强度连接。并用深腐蚀的方法处理钎焊后的试样 ,用扫描电镜、X 射线能谱仪 ,结合X 射线衍射结构分析 ,对金刚石与钎料界面微区结构进行了分析。结果表明 :在钎焊过程中 ,钎料会在金刚石界面形成富铬层并与金刚石表面的C元素反应生成Cr7C3 和Cr3 C2 ,其中Cr7C3 呈笋状生长 ,Cr3 C2 呈片状生长。Ni Cr合金与金刚石的冶金结合 ,是实现金刚石和钢基体有高结合强度的主要因素。最后通过磨削对比实验确证了金刚石与钎料有较高的结合强度 相似文献