化学机械抛光液的研究进展

化学机械抛光（CMP）技术是集成电路制造中获得全局平坦化的一种重要手段,化学机械抛光液是影响抛光质量和抛光效率的关键因素之一,而抛光液中的磨粒和氧化剂决定了抛光液的各项化学机械抛光性能。将抛光液磨粒分为单一磨粒、混合磨粒以及复合磨粒,综述了近年来国内外化学机械抛光液磨粒发展现状,其中重点分析和总结了SiO2、Al2O3、CeO2三种单一磨粒,SiO2/Al2O3、SiO2/SiO2、SiO2/CeO2混合磨粒,CeO2@SiO2、PS@CeO2、PS@SiO2、sSiO2@mSiO2、PMMA@CeO2、PS@mSiO2等核-壳结构复合磨粒,Co、Cu、Fe、Ce、La、Zn、Mg、Ti、Nd等离子掺杂复合磨粒的研究和应用现状,并针对目前存在的问题进行了详细的分析。针对目前化学机械抛光液不同材料氧化剂（高锰酸钾和过氧化氢）的选择和使用进行了分析总结。此外,介绍了一种新型绿色环保抛光液的研究和使用情况,同时对化学机械抛光液存在的共性问题进行了总结,最后展望了化学机械抛光液未来的研究方向。     

花状纳米结构ZnS:Cu的制备与光学性质研究

采用水热法合成了具有花状纳米结构的ZnS:Cu粉末.利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、透射电子显微镜(TEM)和荧光光谱仪研究了在不同正硅酸四乙酯(TEOS)含量的条件下制备的样品的物相、形貌与光致发光(PL)性质.测试结果表明:制备的ZnS:Cu样品都具有立方相闪锌矿结构;由于TEOS分子...     

某金融中心巨型桩混凝土温度场现场试验与温控研究

混凝土热学参数的准确与否直接影响其温度场和应力场仿真计算的精度与成败。为了获得能真实反映施工现场混凝土相关特性的参数,水工大体积混凝土研究中已广泛应用反分析方法,通过实测数据分析获得所需参数。本文通过桩基混凝土现场温度检测值,进行反演分析,对比分析计算结果的合理性,并得到混凝土的真实热学特性参数。然后利用这些参数,通过三维有限元法仿真模拟方法对施工现场的巨型桩基进行反馈分析,确定合理的温控防裂措施,便于指导后续施工,保证工程质量。分析结果对今后类似土木工程的建设也有借鉴意义。     

溶胶-凝胶自燃烧法制备纳米CoYxFe2-xO4铁氧体的特性

采用溶胶-凝胶自燃烧法制备了CoYxFe2-xO4(x=0.0,0.1,0.2,0.3)铁氧体纳米粉末,并在不同温度下对样品进行了热处理.利用热重/差热综合分析仪及Fourier变换红外光谱仪研究样品的热反应过程.利用X射线衍射仪和振动样品磁强计对样品的结构、晶粒尺寸和磁性进行了测量和分析.结果表明:经自燃烧和不同温度热处理后粉末样品都具有尖晶石结构,晶粒尺寸为10～22 nm之间,存在亚铁磁性.随着稀土钇掺杂量的增加,晶格常数呈现变小趋势,晶粒尺寸减小,矫顽力增大,比饱和磁化强度减小,样品形成单相尖晶石结构能力变弱.经过热处理后,样品的晶格常数、晶粒尺寸、比饱和磁化强度增加,而矫顽力先增后减.     

连续机组带钢跑偏的防偏及纠偏

对连续机组中带钢的跑偏现象进行了分析,提出了防偏及纠偏措施,并对该措施进行了探讨分析.     

渣油加氢装置硫化氢汽提塔顶部腐蚀原因分析

结合渣油加氢装置硫化氢汽提塔顶部塔壁腐蚀泄漏的案例,对渣油加氢装置汽提塔腐蚀情况和缺陷处理进行了介绍。以装置实际生产数据为依据,通过计算汽提塔塔顶露点温度,排除了单独水相的露点腐蚀。通过跟踪分析发现,2020年8月—2021年3月装置原料氯质量分数较高,平均值大于4μg/g;汽提塔塔顶酸性水的氯含量也较高。通过计算得出塔顶氯化铵结晶温度在160～190℃,而装置汽提塔塔顶第1～6层塔盘的实际操作温度在158～210℃,认为氯化铵腐蚀是造成设备腐蚀穿孔的主要原因,提出了加强工艺防腐和汽提塔塔顶设备材质升级等改进措施。     

含点缺陷二维函数光子晶体的本征场分布

采用平面波展开法研究了含点缺陷正方结构二维函数光子晶体的带隙结构、缺陷模式和缺陷模式的本征场分布。选取介质柱的折射率为空间位置的分布函数,其参数可通过改变施加电场、光场的强度来调节。研究结果表明,通过调节介质柱参数,能够实现带隙结构、带隙位置、缺陷模式及缺陷模式的本征场分布的可调,该研究为相关光学器件的设计提供了理论依据和设计方法。     

机载相控阵雷达近程杂波抑制新方法

针对机载相控阵雷达近程杂波抑制,提出了利用俯仰和差波束进行空域滤波的自适应算法。为消除近程杂波距离依赖性对杂波抑制性能的影响,该算法在不同的距离单元分别形成不同的俯仰和差波束;与目前的单元空域俯仰滤波算法相比,降低了自适应权的维数和计算复杂度。由于该算法仅利用雷达收发的第一个填零脉冲回波作为计算自适应滤波权系数的样本数据,避免了远程杂波对自适应权系数的影响。仿真实验证明,在无外界强干扰的情况下,新算法可以将近程杂波完全抑制。     

高等数学教学内容存在的问题及其改革

阐述了传统数学教学内容存在的问题及其改革的必要性 ,讨论了数学教学改革可以从删增教学内容、加强理论联系实际、改革考试制度、结合各专业实际等方面进行 ,从而调动教师和学生的积极性 ,达到更好地完成数学教学任务的目的     

典型机械机构运动模拟CAI软件的研制

本文介绍了以Authorware为多媒体制作平台、以3DS MAX为动画制作的主要工具,开发典型机械机构运动模拟CAI软件的方案和技术要点,并通过实例介绍了典型机构动画的制