浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术

对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求。     

高纯三氟甲烷的制备工艺

综述了高纯三氟甲烷的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有二氧化碳、三氟一氯甲烷、三氟一溴甲烷、五氟乙烷、二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷等杂质的粗三氟甲烷,提纯到99.999%以上。     

八氟丙烷的制备方法

简述了八氟丙烷的用途及现有的制备方法,并介绍了自主研发的合成工艺,以六氟丙烯为原料,在Co系催化剂的作用下与氟气直接反应制备八氟丙烷。