高纯三氟甲烷的制备工艺

综述了高纯三氟甲烷的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有二氧化碳、三氟一氯甲烷、三氟一溴甲烷、五氟乙烷、二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷等杂质的粗三氟甲烷,提纯到99.999%以上。     

吸附法精制电子特气全氟丁二烯

全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C4 F6,HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔.HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法.原料中含有的主要杂质除氮气(N2)、氧气(O2)等不凝性气体能用精馏法轻松脱除外,其它的杂质均可以用吸附法脱除.通过使用沸石类分子筛...     

SPC分析在特种气体行业的应用

统计过程控制(Statistic process control,SPC)主要用于汽车行业及其供应商,包括半导体和特种气体行业。介绍了汽车行业质量管理体系标准IATF16949:2016的核心管理理念,即缺陷预防,持续改进,顾客满意和体系有效。重点阐述了如何用SPC对特种气体行业的关键工序的数据进行分析。应用SPC优化过程控制,可实现整个供应链中变异和浪费的减少,提高特种气体产品的质量稳定性。     

超高纯乙烯的制备

综述了超高纯乙烯(C2H4)的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有氧(O2)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、乙烷(C2H6)、乙炔(C2H2)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、碳三及以上等杂质的粗C2H4提纯到99.9995%以上。利用Aspen Plus模拟软件分析,确定超高纯C2H4制备的最佳设备为:2个填料塔,T1塔共31块塔板,第7块塔板为进料口,T2塔共48块塔板,第13块塔板为进料口。经过实验,制得超高纯C2H4产品,该可行工艺如下:原料经吸附后进入T1塔精馏,控制T1塔温度为-58~-43℃,回流比为720~840,取T1塔液相引入T2塔精馏,控制T2塔温度为-66~-64℃,回流比为0.97~1.3,在线检测合格后充装。