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本文介绍二种新型的接触式晶体表面波温度传感器。采用YZ-LiNbO3单晶和 (110)<001>-Bi12GeO20单晶制作了延迟线型和振子型温度传感器。实验器件的中心 频率在20~55兆赫之间,相对灵敏度80~115ppm/℃。给出了实测的频率温度特性 曲线,在-40~+ 85℃温度范围内具有良好的线性关系。输出为数字信息,可直接 进行数据处理。这类传感器件用在温度遥测和遥控方面是极有前途的。  相似文献
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