等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜

集成电路的高速发展为铜互连提出诸多要求,其中,如何低温条件(≤150℃)下在大深宽比的通孔或沟槽中沉积保形性好、纯度高、导电性好的铜籽晶层是亟需解决的问题。本文利用等离子体增强原子层沉积技术,以脒基铜为铜前驱体,以氢等离子体为还原物质,在较低的沉积温度(100℃)下,沉积了纯度高、导电性能优良的铜薄膜。在10∶1的硅基沟槽中,表面与沟槽底部厚度均匀(~80 nm)。考察了放电输入功率对薄膜形貌的影响并利用时间分辨发射光谱技术对氢等离子体进行在线诊断。本论文研究表明铜脒基前驱体用于低温等离子体辅助原子层沉积工艺,可有效地解决铜薄膜沉积过程中铜粒子的团聚问题,并为其它类脒基前驱体进行金属薄膜的沉积提供借鉴。     

常温下自制功能保鲜袋对火龙果的保鲜效果研究

目的延长火龙果在常温(25±1)℃条件下的货架期。方法使用智能缓释杀菌薄膜和高透气性硅窗薄膜制备多功能集成保鲜袋(AP),并对新鲜火龙果进行保鲜实验。通过对保鲜袋的顶空气体组成、火龙果的硬度、总可溶性固形物含量、可滴定酸(TA)含量和维生素C含量的测定,研究AP多功能集成保鲜膜对火龙果的保鲜效果。结果在常温下,裸放火龙果的货架期为6 d,而AP多功能集成保鲜袋内火龙果的货架期可以延长4 d,并且可以较好地保持火龙果的品质。结论 AP膜可有效减缓硬度的降低及水分损失,同时可溶性固含量和总酸值均高于对照组。