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本文介绍了一种新型的声表面波谐振式压力传感器,压力敏感元件为声表面波谐振器,并组成差电路形成式进行温度补偿。敏感膜片采用全石英一体化封装技术,消除了传统粘贴式封装结构所带来的迟滞、重复性等误差,极大的提高了压力测量的精度。由于声表面波器件采用半导体工艺制作,易于批是生产,降低了成本,具有极大的实际应用价值和意义。文中介绍了该传感器的工作原理,并给出了具体的性能指标。 相似文献
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环形激光陀螺频率稳定性的研究 总被引:6,自引:0,他引:6
对直腔式和环形谐振腔的稳频原理进行了理论上的探讨,并给出了环形激光陀螺的稳频精度分析。根据环形激光器研制过程中的需要,提出了一种基于单片机系统的实用稳频方案,并对该系统的电路时序工作过程进行了分析,作者还将该方案与 H. J. Murphy 提出的数字式稳频系统在性能上进行了比较。 相似文献
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介绍了一种遥测声表面波压力传感器的原理与设计,其核心敏感部件是由声表面波谐振器组成的振荡器,文中给出了主要的测试结果。 相似文献
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