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采用网状化热释电靶面极大地改善了热释电摄象管的空间分辨率。本文叙述了在制备高质量网状化氘化硫酸三甘肽(DTGS)摄象管靶面的工艺技术和结构方面取得的进展。利用理论分析的结果来选择网状靶面的结构尺寸。用低能离子束研磨DTGS薄片而制得网状靶。本文论述了DTGS材料的蚀刻特性,并讨论了掩模材料、衬底材料和信号电极的选择。并大量地对摄象管的靶面进行扫描检测,以便找到成像性能和外观质量与靶面结构和蚀刻工艺之间的关系。由于这些研究,改进了最佳靶面的制备和工艺流程,从而使分辨率比平面靶管子有很大改善,并且获得了令人满意的成像。 相似文献
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