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形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术 总被引：1，自引：0，他引：1
本文介绍了一种制作硅多层微结构的体微机械加工新技术．基于KOH溶液的无掩模腐蚀特性，仅用一层掩模进行一次从有掩模到无掩模的连续腐蚀工序，可在（100）硅片上制作各种以（311）晶面为侧面且进棱沿（110）晶向的多层次立体结构，原则上层面数不受限制，各个层面的位置和深度都可由一块掩模的设计和相应的腐蚀深度确定，该技术突破了传统各向异性腐蚀的局限性，使体微机械技术的加工能力大为扩展，可望在微电子机械系统的结构制作中广泛应用． 相似文献
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具有定量测量绝对流速的功能,是对多普勒仪的迫切要求。而对于能够同时分别输出正、反两个相反方向流速信息的双向多普勒仪来说,实现定量测速的困难更大。 常见的定量测速方法有:a)双多普勒法[1],它需要对整个线路加倍,而双向多普勒本身已有两个通道的线路,若再加倍,则在工艺要求、调试、成本及体积上都会碰到不少问题;b)一般的多晶片组合法[2][1],它有着测量结果依赖于被测血流所处深度的缺点;c)设置入射角法[2],它要求探头的发射声束、接收声束与血流的轴线共面,而且声束-血流测量平面始终保持不变。 为此,我们在所研制的F-1型单边带直接… 相似文献
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