用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜

采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·cm。这些结果表明 ,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW )器件的需要。  

声表面波器件的研究进展

声表面波器件作为一种新型的电子器件，近年来引起了人们极大的关注，在科学研究领域有了较大的进展，在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛。本简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用，展望了其今后的发展趋势。  

金刚石声表面波器件的研究与进展

高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波(SAW)器件需求的不断增大。金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性，因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注。本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法，讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展，包括理论研究与实验进展的概况，并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势。  

气敏传感器的发展

综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动，并着重对声表面波（SAW)气敏传感器及石英微天平（QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。  

掺杂LiNbO3晶体压电性能与声表面波性能的研究

用拉拉法生长了多种掺杂ＬｉＮｂＯ３晶体，测定了压电性能和声表面波性能，结果表明，Ｓｒ：ＬｉＮｂＯ３和Ｔｉ：ＬｉＮｂＯ３较纯ＬｉＮｂＯ３晶体压电系数有较大增加，其他压电性能基本保持不变。首次发现其声表面波性能提高，尤其是延时温度系数明显降低，可见Ｓｒ：ＬｉＮｂＯ３和Ｔｉ：ＬｉｂＯ３晶体对制备质量声表面波器件具有重要意义。  

声表面波谐振器型振荡器的研制

本文介绍了金属条射栅双端对声表面波谐振器型的原理和结构特点，给出了一种采用声表面波谐振器稳频的低噪声，高稳定性的振荡器电路设计方案。对影响振荡器频率稳定度的因素进行了分析讨论，并探讨改善声表面波振荡器频率稳定性的方法。该声表面波谐振器的中心频率为１２０ＭＨｚ，无载Ｑｖ，大于２０，０００，插入损耗小于６．０ｄＢ，经测试，秒级频率稳定度为１０＾－１０数量级，在自由室温下的日平均波动为１０＾－６／ｄ数量  

甲醛气体传感器研究进展

甲醛是室内空气的主要污染物之一,随着人们对室内空气污染的日益关注,对甲醛的准确及时检测显得更加重要.目前检测甲醛气体最为快速的方法就是传感器法.在综合分析了国内外甲醛气体传感器的研究现状的基础上,着重就测定甲醛的电化学传感器、基于化学发光的传感器、金属氧化物传感器、电子鼻、声表面波传感器的特性进行了阐述与剖析,指出了甲醛气体传感器存在的问题,并预测了其发展趋势.  

LiNbO3声表面波特性及其应用

LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性被广泛应用于声表面波器件中.着重介绍LiNbO3的压电性能、声表面性能及其薄膜制备技术,对通过不同制备工艺生长出的LiNbO3薄膜的质量和声表面波性能进行了比较,并简要介绍了LiNbO3在声表面波领域应用的新进展.  

高频声表面波材料及器件制备工艺的研究

研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响。采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺，制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器。结果表明，电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力，具有适合SAWF器件制备所需的微观结构，在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性。