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1.
计量型原子力显微镜   总被引:24,自引:5,他引:19  
本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中,在中等测量范围内,具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生,可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化,并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接。使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象,并对它们进行更精确的分析。文章对计量型原子力显微镜进行了理论分析,提出了对各种测量误差的抑制及其补偿方法,并进行了大量的实验,得到良好的结果。目前,该计量型原子力显微镜在其测量范围内,任意两点间距离的测量不确定度为U95=5nm+2×10-4l;在z-轴上的测量不确定度为U95=(1.1~1.2nm)+2×10-4h。  相似文献
2.
激光干涉法一次冲击加速度计动态特性校准   总被引:13,自引:0,他引:13  
介绍利用激光光栅干涉技术进行冲击加速度动态特性校准的一种方法。将冲击加速度直接绝对溯源于基本量和单位(时间和长度);说明差动式光栅激光干涉冲击校准装置的原理,介绍了使用调频信号的数字化解调方法和模式识别方法实现数据处理的基本过程;最终给出了被校准的加速度计的频率特性曲线和传递函数实验结果;使用本文方法可以进行加速度计动态特性的校准测试。  相似文献
3.
用于大面积周期性图形制造的激光干涉光刻   总被引:13,自引:5,他引:8  
用两束或多束相干激光束以不同的组合形式对