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纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加,这些都显著地提高了麦克风的灵敏度,是该项新结构的关键.本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系,及结构的优化进行了研究.通过对制作出的不同结构参数q值的麦克风的测试,得到了与初步理论分析基本相符的实验结果.实验证明,纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风 相似文献
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柔印带有众多连线工艺,如:丝印、凹凸、模切等,而把每一种工艺融入柔印连线,都是一种挑战。就拿我们车间前年攻克的“84mm龙凤呈祥”来说,其印刷工艺中包含一种特殊工艺效果——压纹。从事过柔印的朋友都知道,贴版的好与坏,正与斜对产品的质量影响很大,不单是印版,凹凸版更为复杂。 相似文献
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5.
研究了不锈钢堆焊试样在高温、高压条件下充氢后,堆焊熔合区裂纹的形核机理。研究发现,在高温、高压条件下进入试样的氢使富碳的熔合区处发生了氢腐蚀,氢与熔合区中的碳化物发生反应生成CH4。在CH4气泡和集聚的氢的共同作用下使裂纹萌生和扩展,裂纹有明显的微孔聚集特征。 相似文献
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一、用复映法加工表面装饰纹的模具在塑料成形中,很多场合要求在塑件表面形成皮纹、织物纹或木纹。为了复映装饰纹达到所要求的形状,必须按设计图案对模型表面进行反向雕刻。但要雕刻成天然的形态几乎是不可能的。随着对塑料制件的高要求,用天然标本制作模型的水平也随之提高,从而能通过复映标本的形状,制成外观质量很高的装饰纹模具。简便的复映制模法有浇注树脂的树脂模。这是专用真空方法成形的模具。另外,还有采用厚镀层的电铸模,也是用真空成形或灌浆成形工艺。这种模具的制造时间较长,注射成形 相似文献
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