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通过控制氧气与氮气流量比,使用反应磁控溅射技术在抛光硅片表面制备TiAlON涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、光谱椭偏仪(SE)分析氧氮比对涂层的微观结构与光学性能的影响。结果表明,TiAlON涂层具有与TiAlN涂层相同的面心立方结构(NaCl型)。随着溅射氧气分压的升高,涂层的柱状晶结构变得模糊。通过控制涂层的成分,TiAlON涂层的光学性质可由类金属特性向半导体特性以及陶瓷特性转变,说明TiAlON涂层具有可控的光学常数,可作为太阳能光谱选择性吸收涂层的候选材料。 相似文献
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利用射频反应磁控溅射技术制备了氮化铝( AlNx)薄膜.采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计分析氮氩比对AlNx相结构、表面形貌、沉积速率以及薄膜光谱透过率的影响规律.氮氩比显著影响溅射薄膜的成分和相组成,进而影响薄膜的透过率.当氮氩比小于4/156时,薄膜由金属铝组成;当氮氩比大于6/154时,薄膜由立方-AlN相组成.薄膜形貌随氮氩比例增大由粗糙不规则状的颗粒转化为均匀致密的细小颗粒,AlNx薄膜的沉积速率随之减小.光学性能测试结果表明,AlNx薄膜透过率由金属铝膜的零增加为83%,AlNx薄膜在300~2500nm波长范围内透过率较高,而在大于2500nm的近红外区透过率显著下降. 相似文献
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载钯硅藻土复合材料吸/放氢循环性能和抗粉化性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用乙酰丙酮钯为前驱体通过浸渍-热分解法制备了钯含量为45.3%的载钯硅藻土(Pd/K)复合材料,并通过冷/热循环、PCT,XRD及SEM对其进行吸/放氢循环性能和抗粉化性能分析。循环性能分析表明:40℃时Pd/K材料在30 s内已基本吸氢饱和,最大吸氢量为0.689%(质量分数)。初始250~380μm的Pd/K复合材料在2000次40℃吸氢/180℃放氢的吸放氢循环过程中,吸氢平衡压、吸氢量及吸氢速率均没有明显的衰减;但是,2000次循环后,复合材料150μm以下的样品占17.6%。物相和微观形貌分析表明:Pd/K复合材料由Pd和SiO2组成;复合材料的表面钯含量较高,经过热处理,其表面钯长大,形成钯膜,但该钯膜存在较多裂纹,致使其在吸/放氢过程中容易从复合材料颗粒表面脱落;Pd/K复合材料粉化主要是由其表面富钯层的脱落引起的。 相似文献
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采用直流及中频反应溅射在铜基底上沉积SiCrOxNy光谱选择性吸收涂层。对该涂层的光学性能进行表征,其吸收比为0.938,80℃发射比为0.07。经300℃,200 h热处理后,吸收比无明显变化,发射比小幅升高;俄歇电子能谱(AES)分析显示,界面处元素扩散和Cu基底氧化是涂层光学性能下降的主要原因。在35℃下进行5%盐雾腐蚀试验,腐蚀初期涂层发射比迅速升高,腐蚀36 h后吸收比衰减加速,涂层表面开始出现剥落现象;致密的SiO2减反射层对增强涂层耐盐雾腐蚀性能有明显效果。 相似文献
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Based on the analysis of XRD, SEM, P-C-isotherm measurements and absorption kinetics simulation, it was indicated that Ce addition was an effective way to inhibit the formation of C14 Laves phase, improve flatness of the plateau, increase hydrogen diffusion rate and enlarge hydrogen storage capacity. The hydrogenation capacity of Ti27.25Cr28.05V37.25Fe7.45Ce1.0 alloy prepared by commercial ferrovanadium was 3.56 wt.% measured at 298 K. The dehydrogenation capacity was 2.25 wt.% and 2.54 wt.% measured at 343... 相似文献
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Pd基合金膜对氢气具有唯一渗透性和高渗透率,在氢气生产、应用、回收、探测等领域有着广阔的应用前景。PdAg, PdCu, PdAu,PdPt, PdRu为近年来Pd基二元合金膜的研究热点,对它们的研究重心也逐渐由提高合金膜的氢渗透性能,转向了对循环稳定性、高温稳定性、抗毒化性能及膜反应转化率等综合性能的优化。其中PdAg与PdCu合金膜的技术成熟度高,已在具有商业价值的重整制氢反应器及氢气净化器中投入使用。PdAu, PdPt, PdRu合金膜在实验研究中的优异表现,也展示了其在商业应用中的巨大潜能。介绍了上述几种Pd合金膜在重整制氢、脱氢加氢反应器及氢纯化器中的最新研究进展,讨论了其在实际应用中面临的问题与挑战,提出了不同Pd合金膜可适应的服役条件及可行的优化方案。最后对Pd合金膜开发与应用的发展趋势作了展望,指出了Pd合金膜抗毒化性能的提升仍然是未来研究的重点。 相似文献
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热处理温度对Pd/K复合材料微观形貌和储氢性能的影响 总被引:2,自引:2,他引:0
采用XRD,SEM,P-C T等方法研究了热处理温度(873~1473 K)对含Pd 45.3%(质量分数)的载钯硅藻土(Pd/K)复合材料微观形貌和储氢性能的影响。结构及微观形貌分析表明:Pd/K复合材料由Pd和SiO2两相组成,且相组成不随热处理温度的升高而变化;1123 K以下温度热处理时,Pd/K复合材料中细小的钯颗粒分布于硅藻土颗粒表面和孔隙内,同时,复合材料具有高的比表面积和孔容。随着热处理温度的升高,钯颗粒聚集长大形成网状膜,导致复合材料比表面积和孔容降低。储氢性能分析表明:1123 K以下低温热处理的Pd/K材料饱和吸氢容量低、压力平台斜率大,升高热处理温度可显著降低其吸氢平台斜率,减小吸放氢压力滞后,增大储氢容量。 相似文献