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分析和讨论影响火力发电厂超纯水pH在线测量的各种因素,采取措施加以改进,保证pH测量的稳定性和准确性。 相似文献
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深亚微米生产线中的超纯水装置 总被引:4,自引:0,他引:4
本文依据深亚微米技术的要求,结合实例,扼要介绍这种世界的超纯水装置。讨论了TOC/DO或WC/Si低于1PPb和用水点无微粒的技术以及费用等项热点问题。 相似文献
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介绍集成电路制造中的用水,进而讨论节水在该行业中的重要性;详细分析了用水的特征和可能实现的节水手段和方法,特别阐述了如何对生产过程中使用的超纯水进行节流回收和处理再利用有价值的废水。对实现环保节能的集成电路制造企业提供了现实可行的操作依据。 相似文献
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