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化学气相沉积技术与材料制备 总被引:13,自引:0,他引:13
概述化学气相沉积技术是一般原理与技术,总结化学气相沉积技术在材料制备方面的发展与应用状况,着重介绍化学气相沉积技术在制备贵金属薄膜和涂层领域的最新进展。 相似文献
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钢基体中碳与铁对化学气相沉积TiN动力学的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了在碳含量不同搂钢基体上化学气相沉积TiN的沉积速率,研究结果表明,随着钢中碳含量的提高,沉积速率呈线性增长,涂层硬度也随碳含量的增加而提高。基于铁的触媒作用,推导出TiN的沉积速率方程为V=h1+K10×x(C);对于碳含量较高的Cr12MoV钢和碳含量较低的20钢基体,测得TiN沉积表面过程表观活化能分别为165.11kJ/mol和120.38kJ/mol。钢中合金元素对TiN沉积速率的影 相似文献
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综述了近年来在不同基底上用碳纳米管来增强化学气相沉积金刚石成核的研究进展,并就碳纳米管增强CVD金刚石形核的机制进行了讨论。 相似文献
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将3组不同纤维体积分数的整体毡采用等温CVD进行沉积热解炭增密,结合CVD沉积过程中整体毡内气体传质数学模型,研究了整体毡的纤维体积分数对CVD增密过程的影响,研究结果表明:纤维体积低的整体毡沉积时增重率高;纤维体积分数高的整体毡容易获得较高密度的C/C复合材料;纤维体积分数超过35%的整体毡经过300 h的化学气相沉积,坯体的体积密度能达到1.52 g/cm~3。 相似文献