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长行程直线电机的迭代学习控制 总被引:3,自引:0,他引:3
光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程直线电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的轨迹跟踪精度。提出了一种开闭环D型迭代学习控制律改善永磁直线同步电动机(PMLSM)的轨迹跟踪性能。控制器由三部分组成:PID控制器用来提高系统对扰动和参数变化的鲁棒性;前馈补偿器可提高系统的实时跟踪性能;迭代学习控制器则通过执行重复任务来不断向理想的控制信号逼近。实验结果表明,这种控制方法可以有效提高系统的轨迹跟踪精度。 相似文献
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该文从热工控制系统在单元机组运行中的功能与重要性出发,分析了新建火电机组热控专业调试内容及调试方案制定,面向主机和主要辅机,说明了热工控制各子系统调试中要注意的问题,介绍了热控系统投运及整机启动过程的调试内容和步骤。参2 相似文献
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火电厂DCS现状与发展趋势李介明(长沙电力学院动力工程系长沙410077)大型火电厂自动控制技术经历了50年代的模拟仪表的应用,跨入了数字化时代.特别是4“C”技术(Computer、Control、Communication、CRT)的发展及其有机... 相似文献
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为了研究冷却塔原地倒塌爆破工艺,采用有限元软件进行切口模拟分析,用高清摄像头对筒体及人字形立柱变形进行数据采集,针对筒体变形时间、塌落速度、切口闭合变化、筒体扭曲变形后塌落范围情况进行了详细的分析。实践结果表明:冷却塔原地塌落切口设计并不能按常规4等分平均分配,四个区域对等分配易造成整体下座不倒,第四个区域周长(最后引爆)略大第一区域四分之一,四个区域孔内延期时间分别为MS4/MS8/MS8/HS3孔外为MS2;通过有限元软件模拟筒体产生塌落趋势需要1 s,筒体的开槽口产生闭合需要3 s,筒体空中挤压扭曲触地需要6.8 s,各区域孔内延期时必须在合理时间内完成变形工作,经爆后影像分析测算与模拟时间相同,原地塌落筒体90%在池内,上部圈梁外抛出水池约6 m,对周边制氢站、循环水泵房、钢闸门等设施未造成影响;未对23 m外天然气埋管造成影响,经测量天然气管网塌落振动值仅2.095 cm/s说明原地塌落爆破技术对于触地减震起到较大作用,能有效控制筒体塌落外抛距离。 相似文献
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