PLD法制备Cu膜生长的计算机模拟与实验

介绍了脉冲激光薄膜沉积技（PLD）的原理，建立了PLD成膜过程初期生长的物理模型，并运用动力学蒙特卡罗方法对基于硅衬底的铜膜PLD生长进行了计算机模拟，得到生长形态图及剖面图，在相同的参数下做PLD实验，将所得原子力测试图与模拟进行了比较，结果相近。