湿式三效除尘机组在山西铝厂铝矾土破碎车间的应用

介绍了采用湿式三效除尘机组对山西分公司铝矾土破碎车间除尘系统进行技术改造的的生产实践。     

微电子机械系统

本文对国外微电子机械系统的研究现况作了评述，介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。     

充油型脱醇型硅酮密封胶性能研究

研究了甲基硅油、低分子量聚丁烯、氢化烷烃油作为增塑剂用于脱醇型RTV-1硅酮胶对其性能的影响。结果表明:甲基硅油增塑剂对降低模量、提高位移能力效果明显;聚丁烯与聚硅氧烷相容性差,影响与基材的界面粘接;少量添加烷烃油能起到与甲基硅油类似的效果,但热失重超过10%,添加量增加对基材的粘结性变差,其它性能也大幅降低。     

振动式微机械陀螺驱动环路数字AGC研究

对微机械陀螺系统的自激驱动环路进行了分析,并对数字处理电路中自动增益控制（AGC）模块进行了深入研究,给出了一种高控制精度的定点数字AGC算法。通过理论分析和模型仿真,结果表明AGC控制精度得到很大的提高,对陀螺驱动输出信号的幅度具有很好的控制效果,从而可以大大减小陀螺温漂及其他一些因素引起的不稳定性。最后给出了算法的直线逼近近似实现方法,能在的定点DSP当中很方便的实现。     

基于静电力的微液滴驱动芯片

为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片.介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台.芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层.实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面...     

提高凡口铅锌矿尾砂利用率的工业试验研究

采用CZI型高效分级浓缩旋流器对凡口铅锌矿尾砂进行分级,取代现有的多段浓密机浓缩的充填尾砂生产流程.一方面,通过旋流器分级有效剔除了尾砂中的微细粒级,极大提高了尾砂的胶结强度,因此可以用它取代磨砂作浇面砂;另一方面,旋流器对有效粒级良好的回收性能提高了尾砂的产量,试验表明尾砂的利用量可以由现在的15万t/年提高到25.03万t/年.     

高Q值音叉式微陀螺静电自激驱动研究

为了提高检测精度,对研制的具有滑膜阻尼的音叉式微机械陀螺采用静电自激驱动方式,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上,并保持恒定的驱动振动速度幅度。分析了静电自激驱动电路工作原理,采用自动增益控制(AGC)设计制作了相应的检测电路,实现了Q值为325、谐振频率为2.04 kHz微陀螺的闭环恒幅自激振动。     

基于FPGA的数字式电容检测系统

基于微机械工艺制作的加速度计,广泛采用差动结构电容变化来反映被测量的方向和大小。近年来针对该需求研制了检测微小电容变化的电路。采用基于FPGA实现的数字式电容检测系统,具有高精度和稳定度,对寄生电阻、电容不敏感,并直接采用数字接口输出。它检测电容变化范围为±2pF,电容检测分辨率可达到0.115fF。将系统连接到灵敏度为1.056pF/g的加速度计后,可以测量的加速度分辨率为0.107mg,对应的动态范围为4.0×104。