梳状电极双轴微机械加速度计的研制

提出了一种新型的基于体硅工艺的双轴加速度传感器,量程为±50 gn,采用全对称结构,其电容检测部分采用变面积、差分电容式的梳状电极结构.利用有限元分析软件分析得到本文所设计的双轴加速度传感器微结构整体质量为1.174 mg,X、Y轴的灵敏度皆为2.3 fF/g,模态分析结果表明,第一和第二模态振型为两敏感方向的振型,且谐振频率分别为2 774 Hz,2 775 Hz.经过MEMS加工工艺制作出的芯片尺寸为5 260 μm×5 260 μm.经过测试,此双轴加速度传感器的电学灵敏度为33.78 mV/g,谐振频率为2.4 KHz,带宽可达到1.5 KHz.     

自激驱动方式的振动式微机械陀螺全差动接口电路

以外框驱动内框检测(ISOD)的框架式振动陀螺为对象,采用CSMC 0.6μm标准CMOS工艺给出了驱动电路和检测电路的实现方式.仿真结果显示,同外加驱动方式相比,自激驱动方式能够让驱动电压工作于微机械陀螺的驱动谐振频率上,对温漂和时漂有很强的抑制作用,能够实现最大的检测分辨率,微机械陀螺性能显著提高.采用全差动工作方式相对于单端工作方式,可以有效的提高信噪比(SNR),并可以抑制共模噪声的干扰,并降低对高频载波的依赖度.在大气环境下,微机械陀螺的响应度为10 mV/deg,灵敏度为0.1°/S*Hz2.     

被动式自呼吸微型直接甲醇燃料电池组的结构设计

随着社会的发展与进步,具有便携式及可移动性概念的电子产品迅速发展,人们迫切需要能为这些电子产品供电的,具有简单结构、能量密度更高的电源.直接甲醇燃料电池具有低污染、高效率、燃料补充方便且安全性高、结构简单、质量轻、体积小、比能量密度高、容易操作等优势,所以它更适宜成为便携式电子装置的理想动力源.本文采用微机械加工技术制作了新型结构的被动式自呼吸微型直接甲醇燃料电池组,每个单体电池的有效面积为2cm×2cm,在室温条件下,阳极供给浓度为2M甲醇时,电池组开路电压为3.676V,短路电流为153.5mA,最大输出功率为128mW.