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1.
2.
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF-PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压Uz、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响.试验结果表明,外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间,提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性,并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量,有利于工艺调节.当极间距大时,需适当提高Pf,Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜.在比功率密度大于0.009 W·cm-2·Pa-1、C-H浓度即体积分数0.9%~1.4%及膜厚小于90nm的条件下,可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜. 相似文献
3.
真空阴极电弧沉积TiB2薄膜的组织结构及其摩擦学性能的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
用TiB2作阴极靶,采用优化的真空阴极电弧沉积工艺制备的TiB2薄膜是由TiB2,Ti2B5,TiB和Ti组成的多相结构。薄膜的摩擦磨损试验表明:TiB2薄膜的摩擦系数为0.139,膜层寿命超过60min,是TiN和(Ti,Al)N膜层的2倍。 相似文献
4.
掺钨类金刚石膜的制备与性能研究 总被引:4,自引:0,他引:4
采用无灯丝长条离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在不同基体上制备了面积较大、光滑、均匀的掺钨类金刚石(W-DLC)膜层,用SEM、Raman、XPS、XRD、硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验机等手段分析和研究了膜层的形貌、结构及部分性能.结果表明:膜/基硬度高,W—DLC/Si为Hv0.02515=3577;膜/基结合力在45-75N之间;摩擦系数小,抗磨损性能良好. 相似文献
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将GIS技术应用于城市轨道交通工程测量,设计和研发出城市轨道交通工程测量管理系统,实现了对轨道交通工程测量数据的有效组织与管理;实现了测量产品生产、传递过程的自动化;实现了测量生产信息的可视化查询及统计分析,提高了城市轨道交通工程测量管理的效率与质量,缩短了测量产品的生产周期,提高了测量成果的管理和应用水平。本文对轨道交通工程测量管理系统的设计与实现进行了论述,希望能为今后GIS技术在城市轨道交通规划、勘测、设计、施工整个阶段的应用提供参考和经验借鉴。 相似文献
10.