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文章给出电阻盒式静电偏转器场分布和象差的简单计算公式。这种静偏器的场分布与选取合适“调节参数”的多极静偏器的场分布具有相同分布模式。经简化后,十六个象差系数公式只有九项积分运算,且没有光轴电场强度分布的二阶导数。给出光轴电场强度分布的近似公式,从而偏转场分布可以用解析表达式确定,象差系数的计算也更为方便、简单。 相似文献
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本文介绍了将一些迴转型静电偏转场问题归结成圆筒模型,给出了用一维方法计算三维静电偏转场的方法,并解决了计算中比较棘手的奇点处理问题。实例计算表明,这种方法简便、精确,具有较大的概括性和实用性。 相似文献
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一、偏转系统的重要作用生产能力是电子束曝光设备的重要指标,电子束曝光技术的很多研究工作都是围绕着如何提高生产能力这个问题展开的。电子束曝光技术直接为大规模集成电路生产服务是近十几年的事情。国外电子束曝光设备的生产能力逐年提高,电子束曝光设备偏转系统的不断改进是关键因素之一。以下三个方 相似文献
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一种计算矩阵特征值特征向量的神经网络方法 总被引:1,自引:0,他引:1
当把Oja学习规则描述的连续型全反馈神经网络(Oja-N)用于求解矩阵特征值特征向量时,网络初始向量需位于单位超球面上,这给应用带来不便.由此,提出一种求解矩阵特征值特征向量的神经网络(1yNN)方法.在lyNN解析解基础上得到了以下结果:初始向量属于任意特征值对应特征向量张成的子空间,则网络平衡向量也将属于该空间;分析了lyNN收敛于矩阵最大特征值对应特征向量的初始向量取值条件;明确了lyNN收敛于矩阵不同特征值的特征子空间时,网络初始向量的最大取值空间;网络初始向量与已知特征向量垂直,则lyNN平衡解向量将垂直于该特征向量;证明了平衡解向量位于由非零初始向量确定的超球面上的结论.基于以上分析,设计了用lyNN求矩阵特征值特征向量的具体算法,实例演算验证了该算法的有效性.1yNN不出现有限溢,而基于Oja-N的方法在矩阵负定、初始向量位于单位超球面外时必出现有限溢,算法失效.与基于优化的方法相比,lyNN实现容易,计算量较小. 相似文献
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多极静电偏转器偏转场分布之解 总被引:1,自引:0,他引:1
文章推导了两种多极静电偏转器偏转场分布的统一、简单之解;采用有限差分法,计算了多极静偏器多种不同几何尺寸的富里埃函数系数和光轴电场强度分布等场参量,提出多极静电偏转器和平行板静电偏转器光轴电场强度分布的近似公式;讨论了多极静电偏转器偏转场分布的各种特点。 相似文献
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钟表式机械定时器是一种传动比较大的升速机构。装发条的头轮轴转动一圈,末级擒纵轮轴转几千圈。这种升速机构一般采用摆线齿轮传动。如“沪式”整体形摆线齿轮传动和“广式”笼形(针轮)摆线齿轮传动。我厂生产的定时器是在分析国内外定时器的结构特点之后,根据本厂加工渐开线齿轮的优势,扬长避短,采用了整体形修正渐开线齿轮传动。经分析对比,优点是: 相似文献
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本文介绍了对电子束曝光机偏转象差进行全面校正时标记采样结点,包括电子束斑形状和标记位置的检测方法。推导了通过测量四个方向上的束斑“直径”便可计算束斑形状的椭圆参数公式,从而使得对偏转散焦进行精确校正成为可能,这在以往的文献中不多见。论述了测量标记采样结点数据与确立偏转象差校正方程的关系。 相似文献