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热界面材料技术是三维系统级封装中的关键技术。文章采用新型定向生长碳纳米管阵列方法制备了热界面材料,并研究了其导热性能。实验结果表明,通过采用50/100/100 nm厚的Ti/Ni/Au金属层和Sn64Bi35Ag1导热焊料,可成功实现碳纳米管阵列的100%转移;通过热释放胶带(Nitto Denko,Part Number:#3198MS)可获得悬浮碳纳米管阵列。文章还通过LFA 447激光导热仪分别测量了热界面材料在25℃、75℃和125℃下的热扩散系数,并计算了其表观热导率,还进行了热循环可靠性测试。结果表明,所选用碳纳米管阵列的表观热导率高于42 W/(m·K),200次热循环后的表观热导率高于41 W/(m·K);转移后的碳纳米管阵列的表观热导率高于28 W/(m·K),200次热循环后仍高于24 W/(m·K)。 相似文献
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