基于稳定固溶体团簇模型的无扩散阻挡Cu合金薄膜的成分设计

随着超大规模集成电路的发展,器件特征尺寸不断缩小,必然会出现Cu互连扩散阻挡层厚度无法进一步减小等瓶颈问题。因此,开发新型无扩散阻挡层Cu合金薄膜(Cu种籽层)势在必行。该新型互连结构在长时间的中高温(400~500℃)后续工艺实施过程中,需同时具备高的稳定性(不发生互扩散反应)和低的电阻率。基于此,首先综述了目前无扩散阻挡层结构的研究现状及问题,然后对基于稳定固溶体团簇模型设计制备的无扩散阻挡Cu-Ni-M薄膜的研究工作进行了梳理,通过多系列薄膜微观结构、电阻率及稳定性的对比,深入探讨了第三组元M的选择原则及其对薄膜热稳定性的影响。为进一步验证稳定固溶体团簇模型的有效性,对第二组元的变化进行了相关讨论。结果证实,选取原子半径略大于Cu、难扩散且难溶的元素作为第三组元M,薄膜表现出良好的扩散阻挡能力;当M/Ni=1/12,即合金元素完全以团簇形式固溶于Cu基体时,薄膜综合性能达到最优,能够满足微电子行业的要求。所有研究表明,稳定固溶体团簇模型在无扩散阻挡层Cu合金薄膜的成分设计方面十分有效,该模型也有望在耐高温Cu合金及抗辐照材料成分设计方面推广使用。     

施工企业内部审计管理探讨

施工企业以"粗放型"管理为特点,随着企业规模的不断扩大,企业运作中的风险也逐步显现,这对施工企业的内部审计管理带来了新的课题。通过几年来内部审计管理的实践和探索,对如何解决施工企业内部审计管理中的问题提出建议和措施。     

增添电压信号判据,减少HGIS操作危险

文章在分析了HGIS在变电站主接线中使用的优点,并对500kV变电站HGIS主接线解闭锁控制回路中存在的隐患进行了分析,提出改进措施.     

基于环境适宜性的生态农业观光园景观评价

如何建立生态农业观光园的环境适宜性评价,了解各景观元素在生态农业观光园中的所发挥的功能与作用,建立完善的农业观光园景观评价体系。本文运用SD法,选取四个样本案例进行景观评价分析,并依此给出评价结果,论证评价系统的合理性。     

车削铝镜红外高反射膜镀制

在红外光谱系统中使用的车削铝镜上镀制高反射膜时,由于铝镜镜面较柔软,用常规擦拭 清洗的方法易划伤镜面,可以在镀制前利用有机物熏蒸的方法清洗车削铝镜,既溶解清洗了表面附着的油污和灰尘,又保护了铝镜镜面。用该方法清洗后镀制的金膜反射率在近红外波段达到98%以上,膜层牢固,使用效果较好。     

澳大利亚水权定价机制经验借鉴——基于墨累-达令流域水权交易数据实证分析

目前我国水权交易体系逐渐成熟,但水权交易中的核心问题即水权交易定价机制尚未形成合理标准。为了给我国水权交易价格改革提供理论依据,探索合理的水权交易价格,研究水权交易市场发展中可能出现的问题,本文借鉴澳大利亚水市场发展经验,选取2008年7月到2019年7月澳大利亚墨累-达令流域的地表水水权交易价格数据进行研究。在构建两区制、三阶滞后的马尔科夫区制转换模型的基础上,研究墨累-达令流域的水权交易价格在不同区制下的波动特征。研究结果表明：当地水权交易价格存在高波动和低波动状态,两种状态持续时间大致相同,且价格波动行为具有惯性,波动状态的变化不仅受自然条件变化影响,更和澳大利亚政府政策的实施密切相关。通过MS-VAR模型计算水权交易价格的预测值为交易双方和政府决策提供参考,政府应健全水权交易价格监督预警机制,保障水权交易价格的合理性。     

MoO_3/HZSM-5催化剂上重芳烃加氢脱烷基反应

采用等体积浸渍法制备了不同负载量的MoO3/HZSM-5催化剂,考察了MoO3/HZSM-5催化剂上MoO3负载量和工艺条件对重芳烃(C9+)加氢脱烷基反应的影响;并用X射线衍射、吡啶吸附红外光谱、氨程序升温脱附等技术对催化剂进行了表征。实验结果表明,重芳烃在MoO3/HZSM-5催化剂上的反应性能与HZSM-5分子筛上MoO3的分散状态、催化剂的酸性和酸量及工艺条件有关;当MoO3/HZSM-5催化剂中MoO3的负载量(质量分数)接近15%时,MoO3在HZSM-5分子筛表面呈单层分散。采用15%MoO3/HZSM-5催化剂,在550℃、3.0MPa、重时空速3.62h-1及V(H2)∶V(C9+)=800的反应条件下,重芳烃转化率达55.94%,苯、甲苯、二甲苯(BTX)收率大于50%,BTX总选择性达90%以上。