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硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni基硅化物,均一性也会根据加热方式产生变化,影响器件的性能。对先导工艺中Ni基硅化物在不同工艺流程里不同的固相反应进行了对比分析,研究了低温浸入式退火加高温尖峰退火以及低温浸入式退火加高温激光退火这两种方法对生成Ni基硅化物的影响,发现硅化物电阻值主要取决于低温浸入式退火的温度,硅化物均一性主要取决于高温退火方式。该研究结果对实际工艺加工有参考作用。 相似文献
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三维Laguerre模型的外存式增量算法及可视化技术 总被引:1,自引:0,他引:1
在用Laguerre算法实现纳米级材料微观组织结构可视化仿真的过程中,解决了传统算法在设计实现三维Laguerre模型(L模型)程序化与可视化时计算机内存占用量大、程序数据结构复杂等问题,设计了由大到小、层层嵌套的空间数据结构,用6个三重嵌套结构体数组作为中间变量,实现了三维L模型体、面、线、点之间数据的传递与拓扑关系的表达.在此基础上,以硬盘上的外部文件为动态存储空间,设计了硬盘数据文件与内存结构体数组之间实时联动的数据交互方案,避开了计算机内存的限制.在仿真超大规模纳米级材料的微观组织结构时,程序运行的内存占用量恒定为1.2 MB,仿真规模仅受限于硬盘的大小,存储微观组织结构几何信息的数据最后以文本文件的形式输出,方便了在工程实际中的应用与二次开发. 相似文献
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由于Oracle数据库的内部细节不公开,对其进行安全审计时,需要解析服务器与客户端通信的TNS协议.但已有的TNS协议解析层次不够深入,适用的数据库服务器、客户端以及操作系统、TNS协议版本范围有限,常用的协议逆向方法对于协议的负载部分解析能力有限.本文针对常用的数据库服务器、客户端以及TNS协议版本,在windows和linux操作系统下,提出一个通用的Oracle通信TNS协议请求报文解析方案.针对字节数多、意义不明的报文段,使用数据挖掘的方式获取字段值与结构的关系,以确定具体的报文格式.在实际系统中的应用表明,提出的方案可以有效解析现场采集的大量数据,从请求报文中提取出SQL语句.在对解析结果进行后期校正后,可以达到所有数据包无异常解析. 相似文献
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异质体材料三维微观组织结构的可视化仿真 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了一种可视化仿真三维异质体材料微观组织结构的有效方法。仿真的微观组织结构以从金相学分析获得的统计意义上的数据描述样本的形态学与晶体学结构。在仿真异质体材料多晶体基体微观组织结构的过程中,设计了构造三维Voronoi晶粒聚合体的增量式外存算法,在指定RVE区域内实现了海量多晶体基体微观组织结构的构造。随后,考虑实际异质体材料中第二相组成物可能的形态、空间取向、空间分布、界面相宽度等几何参数,设计了完全可控的仿真程序,可以根据实验分析需求,通过改变、控制、组合由计算机构筑的第二相组成物的几何实体,产生符合预定要求的微观组织结构。同时,开发了相应的可视化技术,展示了仿真得到的各种类型异质体材料微观组织结构模型。 相似文献
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