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1.
目的 选取影响氧化铟锡(ITO)薄膜生长关键的3种参数,即薄膜生长的氧气流量、薄膜厚度和热处理退火,系统研究其对ITO薄膜光学和电学性能的影响规律。方法 采用直流溅射法,在氩气和氧气混合气氛中溅射陶瓷靶材制备ITO薄膜样品。利用真空热处理技术对所制备的ITO薄膜进行真空退火处理。通过表面轮廓仪测试厚度、X-射线衍射仪(XRD)表征结构、X-射线光电子能谱仪(XPS)分析元素含量、分光光度计测试透过率和四探针测试薄膜方块电阻,分别评价薄膜厚度、光学性能和电学性能,并对比研究热处理对薄膜结构和光电性能的影响规律。结果 电阻率随氧气流量的增加呈现出先缓慢后急剧升高的规律,在氩气和氧气流量比为150∶8时,可得到400 nm厚、电阻率为8.0×10?4 ?.cm的ITO薄膜。厚度增加可降低薄膜电阻率,氧气流量的增加可明显改善薄膜透光性。通过真空热处理可提高室温沉积ITO薄膜的结晶性能,较大程度地降低电阻率。在真空热处理条件下增大薄膜厚度可降低薄膜电阻率,氧气流量增加不利于ITO薄膜电阻率的降低。在氩气和氧气流量为150∶6条件下制备的ITO薄膜,经500 ℃真空热处理后电阻率可达到最低值(2.7×10?4 ?.cm)。结论 通过调控氧气流量和厚度来优化ITO薄膜的结构和氧空位含量,低温下利用磁控溅射法可制备光电性能优异的ITO薄膜;真空热处理可提高薄膜结晶性能,通过氧气流量、厚度和热处理温度3种参数调控可获得最低电阻率的晶态ITO薄膜(2.7×10?4 ?.cm),满足科技和工程领域的需求。  相似文献   
2.
随着矿产资源的开发逐步进入地壳深部,对深部地应力场的变化趋势的探究愈发重要。近些年的研究更新了许多地应力数据,有必要基于最新数据对现有估算方法做出改进。本文根据弹性力学基本理论和球壳模型,研究随深度变化的万有引力体积力和内压的作用,得到宏观的应力分布理论公式;引用广泛分布的实测数据,对理论公式中的地壳物理参数进行拟合,得出垂直地应力和平均水平地应力随深度变化的拟合公式。结果表明:在地球的宏观尺度上,地壳应力随深度的分布不再是线性关系,但在当前人类活动范围内,地应力均值随深度基本呈线性变化,与金尼克假说在γ=22 kN/m3、λ=0.9时的结果最为接近;随着深度增加,平均侧应力系数逐渐趋近于1,比Brown和Hoek提出的包络线更接近实测数据;地壳内部的高压会引起水平拉应力,但自重引起的压应力更高,使得整个地壳内的垂直地应力和水平地应力都为压应力。研究结果可为地壳应力分布趋势的预测特别是深部区域的预测提供参考。  相似文献   
3.
Synthesis of mixed alcohols together with clean fuels from syngas via Fischer-Tropsch synthesis is an attractive route for the utilization of coal, natural gas and biomass. In this work, a monometallic cobalt catalyst (Co/SiO2-EOAM) was synthesized by impregnation using ethanolamine modified silica pellet as support and employed for the conversion of syngas. The combustion of carbon and nitrogen species during the calcination of catalyst facilitated the interaction between cobalt and support, which promoted the cobalt dispersion while inhibited the reduction of cobalt oxide. The Co/SiO2-EOAM catalyst exhibited much higher activity and selectivity to alcohols compared to un-modified silica supported cobalt catalyst (Co/SiO2). The higher activity was resulted from the improved cobalt dispersion. The co-existence of abundant metallic cobalt and Co2+ species were responsible for the increasing of alcohols selectivity.  相似文献   
4.
法律人工智能因其高效、便捷的特点,近年来受到社会各界的广泛关注。法律文书是法律在社会生活中最常见的表现形式,应用自然语言理解方法智能地处理法律文书内容是一个重要的研究和应用方向。该文梳理与总结面向法律文书的自然语言理解技术,首先介绍了五类面向法律文书的自然语言理解任务形式: 法律文书信息提取、类案检索、司法问答、法律文书摘要和判决预测。然后,该文探讨了运用现有自然语言理解技术应对法律文书理解的主要挑战,指出需要解决好法律文书与日常生活语言之间的表述差异性、建模好法律文书中特有的推理与论辩结构,并且需要将法条、推理模式等法律知识融入自然语言理解模型。  相似文献   
5.
分析了影响光纤陀螺仪测试精度的主要误差因素,详细研究了速率转台、测试工装、时间基准源等常见测试设备对光纤陀螺误差的影响。提出了基于高精度计数器对于转台精度评价结合长周期、转台固定周数的测试等抑制方法。实验结果表明,采取抑制措施后,测试工装误差引起的零偏测试误差减小了66.7%,速率转台误差引起的标度因数绝对误差以及时间基准误差引起的标度因数重复性误差均减小了一个数量级。研究结果对高精度光纤陀螺仪精度的提升以及测试设备的改进具有指导意义。  相似文献   
6.
相控阵微系统的主要特征是电路与天线的高度融合集成,将三维微纳集成技术和微电子技术紧密地结合在一起,切合相控阵高频化、小型化和低成本的发展需求。本文设计了一款W波段的封装天线相控阵微系统,该相控阵采用硅基三维集成的方式将T/R多功能芯片、天线阵列集成在一个微系统模块中,并详细介绍了基于硅工艺的多功能收发芯片设计和相控阵封装天线设计。给出了相控阵微系统的测试结果。该微系统具有高集成度、高性能、低成本的特点,可以为高速无线通信、高精度探测和成像等应用提供一个较优的技术路径。  相似文献   
7.
《Ceramics International》2022,48(17):24716-24724
Dielectric capacitors show great potential in superior energy storage devices. However, the energy density of these capacitors is still inadequate to meet the requirement of energy storage applications. In this study, the Bi0.5Na0.47Li0.03TiO3-xNaNbO3 (BNLT-xNN) ceramics were prepared via conventional solid-phase reaction. Results showed that NN can efficaciously enhance the breakdown strength (Eb) and the relaxation behavior of the BNLT ceramic because of the broken ferroelectric long-range order. When x = 0.3, the maximum Eb reached 350 kV/cm, at which the 0.7BNLT-0.3NN ceramic exhibited the high recoverable energy storage density (Wrec) of 4.83 J/cm3 and great efficiency (η) of 78.9%. The ceramic demonstrated good temperature stability at 20 °C-160 °C and excellent fatigue resistance. Additionally, the 0.7BNLT-0.3NN ceramic presented high power density (PD; ~77.58 MW/cm3), large current density (CD; ~861.99 A/cm2), and quite short discharge time (t0.9; ~0.090 μs). These results indicated that the 0.7BNLT-0.3NN material has excellent energy storage properties and various application prospects.  相似文献   
8.
In view of the practical application of γ-AlON as a promising transparent structural ceramic, in-depth insight into its mechanical and thermal properties is essential. The solid-state MAS NMR technique was combined with XRD Rietveld refinement to confirm the crystal structure of Al(8+x)/3O4-xNx (x = 0.299–0.575). These structural parameters were further applied to predict hardness and elastic properties based on theoretical exploration, which are in good agreement with the experimental values. A slight enhancement of mechanical properties with increasing nitrogen concentration is attributed to the stronger chemical bond in octahedra. The experimental thermal conductivity of γ-AlON transparent ceramics was improved slightly with the rise of x in the temperature range from 298 K to 1074 K. The intrinsic lattice thermal conductivity was determined by eliminating the extrinsic phonon scattering as well as the thermal radiation. The reason for the discrepancy between experimental and intrinsic thermal conductivity was revealed. The present methods provided powerful and accessible guidelines in optimizing the mechanical and thermal properties of oxynitride materials.  相似文献   
9.
为进一步提升高铁土建工程源头质量安全治理能力,本文通过对高铁土建工程质量安全治理现状和源头质量隐患进行系统梳理,按照从宏观到微观、从前到后的原则依次从标准规范、工程建设及政府监管层面展开分析,针对性提出了标准规范、质量管控、人员素质、技术保障、信用体系五方面的治理措施。文中创造性提出从标准规范层面和质量安全信用体系构建的治理建议。  相似文献   
10.
为了准确高效地评估高精度惯性平台的摇摆动态精度,提出了一种基于重力矢量测量的惯性平台摇摆动态精度测试方法。惯性平台台体在摇摆过程中稳定在惯性空间,通过安装在平台台体上的3个正交方向的石英加速度计测量重力矢量,重力矢量在台体上的投影角直接反映平台台体的姿态变化,根据测量方法误差及石英加速度计输出特性进行姿态解算,并通过计算惯性平台动静漂移率之差得到惯性平台的摇摆动态精度。惯性平台的摇摆试验结果表明,基于重力矢量测量的惯性平台摇摆动态精度测试方法稳定性好、可信度高,并在误差控制方面明显优于传统的摇摆测试方法。  相似文献   
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