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1.
微机电系统的发展与应用   总被引:5,自引:5,他引:1  
微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程,讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科,着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用,并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。  相似文献
2.
基于MEMS加速度传感器的智能输入系统   总被引:2,自引:2,他引:2  
如今在使用大尺寸显示器的PC应用领域,传统输入设备键盘、鼠标以及触摸屏使用的不便已愈加凸显.针对这一问题,设计了基于MEMS加速度传感器的智能输入系统,同时也提出了一个新颖的人机交互理念.并且针对系统应用的特点,文中还提出了一种简单而有效的识别算法,以实现对手部动作的识别,从而帮助使用者以更加舒适的肢体语言对PC进行操作.该系统可以很好实现音乐、电影播放,图片、长文档浏览,幻灯片演示等应用的控制并可实现鼠标的全部功能,尤其当被使用于多媒体领域,将更具价值.  相似文献
3.
MEMS加速度传感器在微型特种机器人中的应用   总被引:1,自引:1,他引:1  
提出一种基于MEMS加速度传感器LIS3LV02DL的特种机器人姿态测控和环境感知方案。阐述了系统硬件组成,分析了传感器姿态测控方法和环境感知原理。为提高加速度传感器工作精度,设计了一种加速度传感器校正方法。试验结果表明:该加速度传感器能较好地感知机器人运动的姿态与方向,并实现机器人着陆姿态调整和外部环境振动信息的监测。  相似文献
4.
基于MEMS细胞电融合芯片的设计与实验研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
基于MEMS技术,根据细胞电融合的工作条件,设计了一种可以在低电压驱动下工作的细胞电融合芯片。该芯片的外界驱动电压(包括排队与融合电压)仅为传统细胞电融合槽的1/100—1/20,可以显著降低外界驱动部分的设计、制造成本,扩展细胞电融合技术的应用。介绍了该芯片的设计思路,分析了原试制细胞电融合芯片存在的可靠性和氧化问题,提出了有效的改进方法,优化了芯片设计方案,制定了相应的加工工艺流程。给出了采用该芯片对部分细胞进行初步排队、融合实验的结果,实验结果表明:对原有芯片进行的优化设计是有效的。  相似文献
5.
一种小型惯性测量单元的精确标定技术   总被引:1,自引:1,他引:1  
刘秉  闫建国 《计算机测量与控制》2009,17(11):2170-2172,2176
研究了一种基于MEMS陀螺和加速度计的惯性测量单元(IMU)的系统标定技术,建立了陀螺和加速度计的温度漂移和非线性误差模型,采用逐步线性回归法对以上模型进行了简化,并设计了补偿算法;实时补偿效果表明,在-40℃~60℃的温度变化范围内,惯性测量单元的零位偏值、偏值稳定性和非线性度都达到较高精度,这种误差标定方法可有效解决MEMS-IMU惯性器件误差的标定与补偿问题。  相似文献
6.
复合薄膜热导率测试系统研究   总被引:1,自引:1,他引:1  
针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统,设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统.该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成.软件编程在LabVIEW平台上实现.利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅薄膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率.在10-4Pa真空中,测得悬臂梁平均温度320~400K范围内的等效热导率在9~12w/(m·K),其热导率随着温度升高而增大,测试结果和理论值一致.实验表明:系统测试效率高、通用性好,且易于扩展.  相似文献
7.
虚拟训练动作获取系统软件设计   总被引:1,自引:1,他引:1  
针对目前虚拟训练软件常用的输入设备逼真度不足的问题,为虚拟训练软件设计了一种新的人性化接口设备(Human Interface Device,HID)一基于MEMS器件的虚拟训练动作获取系统。系统将微惯性测量原理应用于人体姿态检测,选用微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)惯性器件构建微惯性测量单元(Micro Inertial Measurement Unit,MIMU)作为人体训练动作的硬件采集设备;采用VC++设计上位机系统软件,完成人体动作获取与识别算法,系统软件通过软件接口驱动虚拟训练软件。通过对原理样机测试,测试结果表明系统运行稳定可靠,解算精度在3°以内,满足虚拟训练的要求,且其操作体验较鼠标键盘操作更为逼真,沉浸感更强。该研究首次将微惯性测量单元应用于人体动作检测,拓展了MEMS器件的应用领域,极大增强了虚拟训练的真实感和训练效果,具有广阔的市场前景。  相似文献
8.
一种新型MEMS温度传感器   总被引:1,自引:1,他引:1  
提出了一种新型的基于硅微桥的MEMS温度传感器。传感器是由表面制有惠斯通电桥的硅微桥和淀积在其表面的温敏聚合物薄膜构成。应用弹性力学薄板理论分析了该温度传感器的模型。分析表明:硅微桥的输出与温度变化呈线性关系。在温敏薄膜材料参数已知时,采用大面积、高厚度,可以改善传感器性能。  相似文献
9.
基于MEMS技术的气体传感器   总被引:1,自引:1,他引:0  
综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理,包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。  相似文献
10.
基于微加速度传感器的无线鼠标的设计   总被引:1,自引:1,他引:0  
研究基于微加速度传感器的无线鼠标的设计,讨论了MEMS无线鼠标的软件、硬件设计和系统组成,给出了M atlab环境下系统的模型和算法。模拟结果说明:无线鼠标的设计是合理可行的,提出的二次积分近似算法是简捷有效的。  相似文献
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