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1.
基于MEMS的姿态测量系统   总被引:18,自引:0,他引:18  
朱荣  周兆英 《测控技术》2002,21(10):6-8,13
载体的姿态测量是载体进行预计轨迹运动的基础.姿态测量有多种方式,其中采用磁场传感器测量大地磁场确定航向的方法由于结构简单、体积小、重量轻、启动迅速、成本低等特点,自古至今一直得到应用.本课题在此基础上,利用微机电系统(MEMS)技术,设计了由微机电传感器组合而成的微型方位水平仪,该系统由三轴微加速度计和三轴微磁强计组成.利用大地磁场和重力场在地理坐标系和载体坐标系之间的方向余弦转换进行绝对角度解算得到姿态角.该微型姿态测量系统体积小、重量轻、功耗低、启动快、无长期漂移,可进行全姿态动态连续测量,测角精度为±0.5°(俯仰和滚转)、±0.7°(航向).  相似文献
2.
MEMS发展应用现状   总被引:14,自引:0,他引:14  
微机电系统(MEMS)技术有小尺寸、多样化、微电子等特点,它将信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新的高度。MEMS做成的惯性器件(微加速度计和微型陀螺)以及MEMS在小型卫星、海陆空作战平台及信息传递、航空航天、生物医疗和医学等方面有广泛应用。  相似文献
3.
微机械加速度传感器及应用   总被引:9,自引:0,他引:9  
叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。  相似文献
4.
汽车MEMS传感器的应用及发展   总被引:9,自引:0,他引:9  
本文通过大量的文献资料,评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势,其中重点介绍几种传感器的原理和结构,同时对该领域的产业化也进行了探讨。  相似文献
5.
微机电系统(MEMS)的应用   总被引:8,自引:1,他引:7  
简要介绍微机电系统在各个领域的应用.  相似文献
6.
SOC片上系统、MEMS微机电系统和Smart Dust智能微尘   总被引:7,自引:5,他引:2  
SOC片上系统在国民经济与社会生活中,许多行业生产了所需求的产品。MEMS微机电系统和Smart Dust智能微尘的出现,不但使生产、生活产生了变化,同时会使人类哲学思想发展,产生与时俱进的变化。  相似文献
7.
微加速度传感器硅微结构设计   总被引:6,自引:1,他引:5  
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。  相似文献
8.
新型三轴微加速度计设计   总被引:5,自引:2,他引:3  
新型三轴微加速度计采用单一惯性质量,由四组L型梁对称布置支撑;利用差分电容作为检测接口,测量由于惯性力而引起惯性质量的微动位移;电容的差分结构有利于提高微加速度计的检测性能,实现系统静电力反馈闭环控制.利用ICP深刻蚀技术和静电键合技术等微机电系统工艺完成微加速度计的制作.具有体积小、灵敏度高、功耗小等优点,能够广泛应用于导航系统、汽车工业、PC游戏设备以及其他一些消费电子产品领域.  相似文献
9.
MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战备的思考   总被引:5,自引:0,他引:5  
一、前言MEMS(MicroElectroMechanicalSystems,微机电系统 )是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术 ,是未来的主导产业之一。MEMS以其微型化的优势 ,在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。针对国际MEMS发展趋势和未来的产业化前景 ,结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前核心技术发展战略 ,国家科技部拟将MEMS确定为“十五”863计划重大专项。针对这一形势 ,在前期MEMS发展战略研究的基础上 ,本文将介绍MEMS国内外发展状况 ,探讨我国MEMS…  相似文献
10.
微型飞行器的研究与发展   总被引:5,自引:0,他引:5  
微型飞行器(MAV)不是常规飞行器的简单缩小,尺寸的微型化带来气动力、推进、控制以及系统集成等一系列问题,给MAV的研制造成许多难以克服的困难。文章介绍了MAV的概念、特点、应用及其研究背景,重点综述了目前国内外微型飞行器的研究现状,提出了MAV研究面临的几个关键技术问题,展望了其研究发展趋势。  相似文献
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