三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统

针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法;加工了NMM测头模块;制作了压阻信号调理和采集电路;搭建了测试校准系统.该系统具有移动范围大,精度高,更换方便,易于控制和记录数据等特点.利用它对传感器在Z轴方向的输出作校准,结果证实校准曲线线性良好,传感器在三个方向上耦合很小,其Z方向测量分辨力能够达到30 nm,迟滞性小于±0.05%.  

大行程纳米级压电微动工作台的设计与试验研究

介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级级平台式步距压电微动台.在结构设计方面.夹紧器和驱动器都采用压电陶瓷对称结构,配合夹紧器的夹紧、放松.驱动器伸长或缩短,实现推一拉接力运动,保证微动台运动的平稳性和连续性;采用平台式结构.增强了其实用性.驱动控制方面.配以适当的四路驱动信号.实现了压电微动台的单步、多步连续匀速运动.通过试验对微动台的性能进行了测试,结果表明:微动台的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为200V可达13.9μm/s,最小步距小于10 nm,行程大于20 mm.  

Queensgate仪器推出双传感器技术 实现亚纳米级分辨率

Elektron Technology公司旗下品牌Queensgate近日宣布推出其革命性新款双传感器技术(Dual Sensor Technology),可实现更快、更准确以及更稳定的显微镜物镜聚焦。全新双传感器技术克服了传统纳米定位系统的限制,可提供更快  

基于差动电容传感器的微动定位系统设计

设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统,该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉.采用簧片结构设计系统的机械结构,使用压电陶瓷作为执行器件,使用差动电容传感器作为位移反馈,实现闭环控制,从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应.介绍了微动定位系统的机械组成和差动电容传感器信号检测电路的工作原理,并对系统进行了测试和标定实验.实验结果显示:该平台能够实现15 μm的扫描,精度约为15 nm,且动态性能良好.  

压电定位系统的自抗扰控制设计

纳米定位系统中广泛采用的压电驱动器因存在非线性、多映射的迟滞特性而严重影响了纳米定位系统的 定位精度. 为消除迟滞对定位精度的影响, 将其视为干扰, 设计不基于迟滞及定位系统精确数学模型的自抗扰控制 算法, 利用扩张状态观测器实时估计迟滞, 进而补偿其对定位精度的影响, 获得了良好的定位系统控制仿真效果. 仿 真结果表明, 自抗扰控制器能够有效消除迟滞、提高纳米定位系统的定位精度