无中间层双大马士革中FSG刻蚀技术研究

随着超大规模集成技术的发展,芯片尺寸的日益缩小,铜作为连接材料的优越性日益显现。由于铜的反应生成物不具有挥发性,刻蚀很难实现。只有先在硅片上作好双大马士革结构,然后填入铜来实现铜互连。文章研究无中间层双大马士革中FSG刻蚀技术,将刻蚀过程细分为四步实施:VIA通孔刻蚀、BARC刻蚀、Trench沟槽刻蚀和阻挡层刻蚀(Nitride Remove),解决刻蚀过程中出现的主要问题。     

多目标随机运输路径选择的频域优化模型

根据运输系统的随机特性,讨论时间、损耗和流量等优化目标之间的函数关系,采用概率论方法提出一种用于搜索时变、随机运输网络中多目标路径优化的频域生成图模型(FSG),设计相应的优化算法。FSG通过时频域间概率函数的相互转化,可定量分析O-D对之间多目标路径选择概率的动态变化过程,处理连续概率分布和离散经验分布。结合Matlab给出的算例验证了该算法的可行性和有效性。     

FSG憎水性膨胀珍珠岩外墙内保温的施工

针对一0四厂信号弹安全改造工程的实际，介绍了FSG憎水性能膨胀珍珠岩外墙内保温的施工原理，施工工艺和成品保护措施，既保证了施工安全，又取得了满意的经济效益和社会效益。     

多目标随机运输路径选择的频域优化模型

根据运输系统的随机特性,讨论时间、损耗和流量等优化目标之间的函数关系,采用概率论方法提出一种用于搜索时变、随机运输网络中多目标路径优化的频域生成图模型(FSG),设计相应的优化算法。FSG通过时频域间概率函数的相互转化,可定量分析O-D对之间多目标路径选择概率的动态变化过程,处理连续概率分布和离散经验分布。结合Matlab给出的算例验证了该算法的可行性和有效性。     

基于图理论的频率子图挖掘算法在生物分子网络中的研究

基于大规模生物分子网络的信息挖掘是近年来生物信息学研究领域的一个重要研究课题,频率子图在生物分子网络中代表具有特定功能的稳定结构,基于频率子图的挖掘是生物信息学的一个重要研究方向,对分子网络中的频率子图挖掘算法进行研究,主要对三种经典频率子图挖掘算法（AGM、FSG、gSpan）进行详细的研究和比较,并对生物分子网络中频率子图挖掘存在的问题及解决这些问题的方法进行研究,其目的是为研究更高效的频率子图挖掘算法提供参考和借鉴。