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1.
Based on the elastic analysis of structures, a simple approach to calculating the driving force for polysilicon laterally driven thermal microactuators is presented by using their deflection. The driving force obtained through the deflection is compared with available results measured by force testers fabricated on the same substrate as the microactuators. Reasonable agreement has been achieved. The approach allows one to predict the driving force for the microactuators as their deflection is designed.  相似文献
2.
硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计   总被引:4,自引:1,他引:3  
提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现Ⅰ型支点形式的放大倍数略高于Ⅱ型支点,并采用有限元方法进行了仿真;分析了支点刚度以及输出轴刚度对放大倍数的影响;提出了微杠杆结构设计的原则.  相似文献
3.
硅微振动陀螺的理论分析   总被引:3,自引:1,他引:2  
应用欧拉动力学基本方程,对双框架结构的硅微型振动陀螺进行了理论分析,给出了完整的陀螺动力学方程,并且从灵敏度和驱动技术的角度对这种陀螺的机理作了探讨。  相似文献
4.
微机械角速率传感器的性能分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
中等精度的微机械角速率传感器具有成本低、可靠性高、体积小、重量轻等优点,在民用和军用领域有着广泛的应用前景,具有很强的前沿性;目前世界各国对其非常关注并投入了大量研制和开发费用,根据国际发展趋势和我国的需求,我们研制了静电驱动的振动轮式微机械陀螺仪,本文主要针对这处微机械陀螺仪的特性进行分析,从原理,动力学方程出发,推导出了此类陀螺的检测输入角速度灵敏度;开环、半环传递函数;交流反馈控制提取同相  相似文献
5.
梳齿式微机械陀螺支撑系统的结构仿真与分析   总被引:2,自引:2,他引:0  
微机械陀螺是利用哥氏(wriolis)效应测量角速度的一种角速率传感器.提出一种梳齿式微机械陀螺结构,并且使用有限元仿真软件ANSYS对陀螺中的关键部件--支承梁进行结构仿真,在仿真过程中分别采用了整体建模和简化建模的方法对支撑梁的弹性系数进行了分析比较,最终得出可以采用简化模型代替整体模型对微机械陀螺中的支撑梁进行分析的结论,为陀螺支撑系统的仿真和分析提出了新的思路.  相似文献
6.
微机械双框架陀螺仪的机理研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
微机械双框架陀螺仪是一种用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。由于其尺寸的大幅度减少,使它在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。介绍了该陀螺仪的结构组成与工作机理,建立其力学模型,并在此基础上,主要对原理误差进行了定性的分析,得出了影响其精度的主要干扰源,为误差的补偿指明了方向。  相似文献
7.
硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系   总被引:2,自引:0,他引:2  
检测灵敏度直接关系到陀螺性能的优劣。并尝试用静电力调节敏感模态谐振频率,以提高检测灵敏度。  相似文献
8.
基于相位控制的硅微机械陀螺驱动控制技术   总被引:2,自引:1,他引:1       下载免费PDF全文
全面分析、研究并实现了一种基于相位控制的硅微机械陀螺(Silicon micromechanical gyroscope, SMG)驱动控制技术. 分析了硅微陀螺驱动模态的动力学特性,阐述了相位控制方案的基本原理; 在此基础上建立了控制环路,采用自激振荡理论分析了其稳定性; 建立了环路的相位模型,引入特异因子实现相位控制误差到频率差 (工作频率与驱动模态谐振频率之差)的转换; 建立了对应于相位控制环路的频率模型,当环路滤波器为一阶模型时, 与传递函数为二阶的信号跟踪锁相环(Phase locked loop, PLL)不同,总的闭环模型仅为一阶; 最后基于FPGA平台,采用线性鉴相方式设计了数字化相位控制环路, 并结合幅值控制实现了双闭环驱动控制电路.测试结果表明, 该方案可实现硅微陀螺驱动端的高精度控制.  相似文献
9.
微机械电容式压力传感器的变换电路   总被引:1,自引:0,他引:1  
在介绍一种新型微机械差动电容式压力传感器的基础上 ,重点介绍一种为其配套的电容—电压变换电路。并以实验结果反映其电路的优点  相似文献
10.
平面振动式微硅型加速度计的结构设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理,并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。  相似文献
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