铌酸锂干法刻蚀的研究进展

概述了近年来国内外对铌酸锂(LN)晶体干法刻蚀技术的研究进展。根据刻蚀原理和特点,现有的LN干法刻蚀技术可分为等离子体刻蚀、激光微加工技术和Ti扩散电化学刻蚀。对各刻蚀方法及其研究进展进行了总结,分析了不同干法刻蚀方法之间的区别和联系,并对各方法中存在的问题进行了探讨。其中等离子体刻蚀技术由于其良好的图形转移特性,得到了最广泛的应用;激光微加工技术在制备光子晶体结构和微光栅结构中具有独特的优势;Ti扩散电化学刻蚀LN为制备大尺寸的LN基结构指明了新的方向。     

偏心销对水轮机圆柱式导水机构开度的影响分析

在水轮机圆柱式导水机构中,偏心销常用来补偿制造偏差及表面磨损,但其对导叶开度的影响容易被忽略。首先通过建立具有代表意义的理想开度机构,分析得到不含偏心销结构的开度机构运动关系。然后将常见的两种偏心销结构引入理想开度机构中,利用MATLAB计算得到了偏心销对导叶全开转角的影响曲线。分析表明,影响导叶开度的主要因素为偏心销的偏心值和锁定对象,其中偏心销的锁定对象对导叶的开度影响是更大且更应该被重视的。在导水机构设计和安装时,不仅应选取合理的偏心值和恰当的锁定对象,而且对于偏心销与控制环锁定结构还应保证偏心销偏心方向的一致性。本文的分析及结论对水轮机的设计和水电站的安装维护具有一定的指导意义。     

钛扩散铌酸锂平面波导的反应离子刻蚀

Reactive ion etching（RIE） of LiNbO₃（LN） in SF₆ plasma atmosphere was studied for optimizing the preparation conditions for LN ridge waveguides.The samples to be etched are Ti-diffused LN slab waveguides overlaid with a chromium film mask that has a Mach-Zehnder interferometer（MZI） array pattern.The experimental results indicate that the LN-etching rate(R_LN) and the Cr-etching rate(R_Cr) as well as the rate ratio R_LN/R_Cr increase with either increasing the radio-frequency（RF） power at a given SF₆ flow rate or increasing the SF₆ flow rate at a fixed RF power.The maximum values of R_LN = 43.2 nm/min and R_LN/R_Cr = 3.27 were achieved with 300 W RF power and 40 sccm SF₆ flow.When the SF₆ flow rate exceeds 40 sccm,an increase in the flow rate causes the etching rates and the rate ratio to decrease.The scanning electron microscope images of the LN ridge prepared after～20 min etching show that the ridge height is 680 nm and the sidewall slope angle is about 60°.     

深圳抽水蓄能水轮机球形阀厂内装配试验过程简析

介绍了深圳抽水蓄能水轮机(简称"深蓄")球形阀(简称"球阀")的结构、参数、在制造厂内的装配、试验内容和流程以及装配、试验过程中出现的问题和对问题的分析处理,并阐述了4台球阀的最终试验结果。     

MES系统在1580mm热轧生产线上的应用

唐山不锈钢公司1580热轧生产线现有加热炉两座、往复式粗轧机一架、精轧机7架、地下卷取机两架。为了提升公司内在价值,充分发挥用信息化带动企业管理精细化的理念,该公司在2011年初开始实施信息化项目,目前该项目已整体上线运行。本文主要介绍了唐山不锈钢公司1580热轧生产线现状及MES系统在该生产线上的应用情况,其中着重对MES所实现的功能进行了详细说明。     

新时期高职院校兼职班主任的工作体会

高职院校班主任作为学生素质教育的管理者与培养者,在学生成长过程中起着不可替代的作用,其工作直接影响到学校教育、教学质量以及学校今后的发展。本文结合笔者兼任班主任工作的情况,从专业教师兼职班主任的优势和欠缺两方面入手进行分析,对兼职班主任在高职院校的学生管理工作进行探讨,以期能最大限度地发挥高职院校兼职班主任的作用。     

应力棒法计算转轮不平衡力矩的修正北大核心CSCD

残余不平衡力矩值是评价水轮机转轮制造质量的关键指标。在转轮常用的应力棒法静平衡系统中,通过平衡方程式计算得到的转轮偏重力矩通常与真实配重存在较大的偏差,从而影响转轮真实残余不平衡力矩的计算。首先通过对平衡系统的真实平衡状态分析,指出了应力棒测杆的弯曲变形会导致应力棒所受力矩与转轮真实偏重力矩不等。然后根据工程应用提出集中变形和微小变形前提条件,据此分别推导出了应力棒固定端低于和高于转轮质心时所受弯矩与转轮真实偏重力矩之间的修正计算公式。最后,通过实例分析证实了采用修正公式后可有效减少计算误差。本文的分析及结论对提升转轮的制造质量和关键性能有重要的指导意义。