电子束曝光机激光工件台系统研制

介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台、机械手等进行重大创新。无论是整机性能还是关键技术单元均处于国内领先水平,是一台性能优良、高精度的电子束曝光机工件台。     

现代家庭保安系统(三)

我们已经讨论了家庭保安系统的基本运行和安装原理,考察了高水平防火防盗的几种实用保安报警电路。这些电路都有一个继电器输出端,通过一对接点能使外接警报器动作。本文一、二部分讨论传感器系统和警报器的接法和实际电路,三、四部分讨论各种“故障指示”报警器。警报器的构成警报器可和所用的传感器系统使用同一个电源,也可能要求分离的电源。所有家庭保安系统均应备有电池以防电源故障。假如传感器系统和警报器使用相同的电压而传感器系统经继电器自锁,则两者可在同一个电源上运行,如图     

现代家庭保安系统(四)

触摸与接近报警器一般家庭保安技术是设置陷阱的技术,如门把手,钟表,金属箔带等等。其作用方式是这些物件一旦受到触摸便发出报警声。如果诱陷物是小金属物件,则完成这一作用的途径是使用一种哼声检测触摸传感系统,形式如图9。图9所示的电路可检测出与交流电源线路靠近的人在手指触摸时拾取的交流声。这里CD4001B的一个门电路作简单的脉冲反相放大器使用,其输入端经R_1接到外部金属体。该门电路由12VDC经R_2和R_3分压后取得5VDC供给并由R_5提供偏置使其输出正常时为低电平。     

现代家庭保安系统(一)

文章从基本防范措施、防盗报警系统的种类、各种实用报警系统的设计、家庭保安电路实例等几方面介绍了现代家庭保安系统。     

基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计

介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案。论述了系统硬件和软件的实现,并对其中的关键模块进行了深入分析。与传统底面对准系统相比,该对准系统成本降低约70%,同时,系统的可靠性大幅提高。实验表明,该系统的底面对准精度达到0.25μm,满足系统设计要求。     

半导体化学溶液的浓度控制

在半导体制造工艺中,湿法清洗和刻蚀技术是其中重要的组成部分。文章着重介绍了半导体湿法清洗和刻蚀技术中化学品的化学配比和相关用途,并且重点讲述了化学品浓度控制的重要性及其常用的控制方式。     

PCCP管道工程柔性接口施工技术

结合南水北调中线京石段应急供水工程（北京段）PCCP管道一标工程实践,系统介绍了PCCP管道工程柔性接口聚硫密封胶施工技术。     

超定向传声器

本文介绍了一种获得超指向传声器的新方法—号筒法。它有别于传统的干涉原理和聚焦原理,具有一定参考价值。