电子束和接触式曝光机的混合曝光技术

Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光，在50kV加速电压下，其曝光剂量为50-100μC/cm^2，曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍，分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT：一种用Ⅰ线光致抗蚀剂，对源、漏及栅全部都采用电子束曝光，制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT；另一种将源、漏及栅分割成两部分，其中精细部分由电子束曝光，其余部分由光学系统曝光，用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ     

车间调度下流水线制造系统的仿真研究

在车间调度的基础上，采用事件调度法仿真策略，对流水线制造系统的仿真进行研究。     

谐波齿轮精确间隙分析可视化仿真

研究谐波齿轮传动优化问题,渐开线齿廓代替齿轮共轭齿廓时,存在齿轮重叠干涉影响精度问题。为保证齿轮既不发生干涉又能实现精确传动,且提高计算精度与收敛速度,提出根据齿顶干涉检验法的自动优化算法。通过图形界面参数化设计进行迭代计算,快速精确计算出最小啮合间隙,并对齿廓啮合过程进行了可视化仿真。结果表明,优化结果啮合状况良好,明显提高了计算精度与收敛速度。最后,通过大量实例分析,得到齿轮啮合过程中最容易发生干涉的转角,并采用变位修正法进行修正。为谐波齿轮加工与检验提供参考依据。     

隐伏溶洞对隧道围岩稳定性影响规律及处治技术

以鄂西山区隧道工程实例为依托,在溶洞调查与统计分析的基础上,从岩溶的溶洞体积、形态特征、溶腔充填物特征以及涌水通道类型等方面,对鄂西山区岩溶进行分类,得到鄂西山区岩溶发育特征,即溶腔体积不等、形态多样、溶腔充填物种类多、涌水通道复杂。采用数值模拟方法,分析不同位置的隐伏溶洞对隧道围岩的应力场、位移场影响情况,得出随隐伏岩溶位置变化,围岩应力分布有所不同;溶洞位置由隧道顶部向隧道底部变化过程中,隧道顶部围岩最大沉降由大到小依次为拱肩延长线、边墙一侧、拱脚延长线、拱顶上方、底板下方;随着溶洞位置的降低,隧道拱顶围岩水平最大收敛值由大到小依次为拱肩延长线、拱顶上方、边墙一侧、底板下方、拱脚延长线;随着溶洞位置的降低,隧道周边围岩沉降量由大到小均为拱顶、拱腰、拱脚、底板。基于岩溶类型特征、数值模拟围岩应力场、位移变化情况结果,提出岩溶区隧道揭露溶洞处治原则。以花果山隧道为例,开展溶洞处治原则与方法应用,提出针对性的处治方案。     

自主运行地面站的微小卫星任务规划方法

提出了一种新的微小卫星系统任务规划方法,解决微小卫星任务遥控时资源受限的问题;通过GQM建模将卫星调度任务进行度量元素量化,量化过程中兼顾公平性和合理性,并以任务完成度和卫星功耗作为目标进行评估;通过1000次卫星过顶仿真,40项建模任务的平均完成度达到0.63,每次过顶卫星功耗方差不超过40,证明新方法较传统方法在平稳功耗条件下任务完成度得到有效提升,具有良好的实用性和指导性,适用于自动任务规划和调度的自主运行地面站系统。     

模具加工中的高精度平面磨削

当前,高精度连续模都使用模具钢、合金工具钢和粉末高速钢制造,因而磨削加工是模具加工中极为重要的加工方法。特别,平面磨削是以后各道加工工序的基础。若一块模板的平面磨削精度不符合要求,即使以后的各道加工非常精确,那也难以制造出高精度模具。1.最近平面磨床的发展趋向以往在进行磨削加工时,所达到的加工精度很大程度上要依赖于操作人员的熟练程度和技巧。例如一个熟练的工人对机床的状态非常熟悉,以砂轮发出的声音即可变更进给速度和     

粗糙集的划分贴近度及基于划分贴近度的属性约简算法

Rough集理论是近年来发展起来的一种处理不确定、不精确、不完整数据的数学工具.属性约简是粗糙集的核心内容之一.本文提出了一个新的不确定性度量一划分贴近度,并基于划分贴近度分别提出了对一般信息系统和决策信息系统进行属性约简的算法,对决策信息系统进行约简的算法不仅可以对一致决策表进行约简,还可以对不一致决策表进行有效的约简.     

2.8 μm中红外同步泵浦锁模光纤激光器

2.8μm波段中红外光纤激光器在激光医疗领域具有重要的应用,受到广泛关注。研究并实现了2.8μm同步泵浦锁模脉冲光纤激光器。自主研制了大功率单模976nm皮秒脉冲激光器并以此作为泵浦源,以掺铒氟化物光纤环形腔作为谐振器,通过纤芯同步泵浦的方式,在交叉相位调制作用下实现了2.8μm同步泵浦锁模脉冲激光器的制备。锁模脉冲的中心波长为2784.7nm,重复频率为6.534 MHz,脉冲宽度接近光电探测器极限。所提方案不需要在谐振器内插入任何中红外主动或被动调制器,具有系统稳定性好和易于实现全光纤化等优势。     

基于自适应遗传算法的测试用例生成工具

提出一种“对组合”测试用例生成算法。给出“对组合”索引表的概念。在索引表的基础上,实现一种自适应遗传算法生成测试用例集合。介绍使用该方法开发的测试用例自动生成工具GATG。实验证明,该方法基本达到国际同类工具的平均水平,具有较好的使用价值和应用前景。