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在双光束激光直写系统中,衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的.本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写,利用一种改进的矢量文件格式,使平台沿着垂直光栅线的方向运动,获得连续的多光点同时直写,直写后的衍射光栅线是连续的,系统的运行效率是逐点光刻的几十倍.编写了与DXF文件的接口直写控制程序,给出了实验结果. 相似文献
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本文介绍了变压器油色谱在线监测系统的组成原理,实现方式;并对实现在线色谱的关键问题作了归纳。介绍了色谱的研究现状;文中把无相移滤波技术引入色谱信号预处理领域在线监测中。介绍了遵义电业局运行变压器油色谱在线监测系统的实际情况。 相似文献
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为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。 相似文献
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国内无心中频感应炉炼钢多用酸性炉衬,寿命可达200~300次。但有许多钢种不适宜采用酸性炉衬。根据用户订货,我厂承担的高牌号含P、S特低的不锈钢、耐热钢的任务较多,因此必须采用碱性炉衬才能满足需要。国内中频炉碱性炉衬寿命一般较低,均在50次的水平。我厂在炉衬模子设计、材质、粒度配比及烘炉洗炉等工艺进行一定改迸,使炉衬寿命从50次提高到110次,达到国内先进水平。为进一步提高炉衬寿命提供了方向。 相似文献
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本文给出了实现全息逆转滤波器的条件,制作了三种具有较大空间带宽积的点扩散函数的全息逆转滤波器,给出了二维模糊图像的恢复结果. 相似文献