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多晶硅衬底上的RF MEMS开关 总被引:3,自引:3,他引:0
在微机械开关与硅IC工艺设计和兼容方面进行了改进,获得了一种可与IC工艺兼容的RFMEMS微机械开关.采用介质隔离工艺技术把这种RFMEMS微机械开关制作在绝缘的多晶硅衬底上,实现了与IC工艺兼容;采用在金属膜桥的端点附近刻蚀一些孔的优化方法,降低了RFMEMS微机械开关的下拉电压.用TE2 819电容测试设备测试开关的电容,测得开关的开态电容、关态电容和致动电压分别为0 32 pF、6 pF和2 5V .用HP875 3C网络分析仪对RFMEMS微机械开关进行了RF特性测试,得出RFMEMS微机械开关在频率1 5GHz下关态的隔离度为35dB ,开态的插入损耗为2dB ,用示波器测得该开关的开关 相似文献
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图书馆网站设计的探讨 总被引:8,自引:0,他引:8
介绍了当今信息时代建设图书馆网站的重要性和作用 ,以及在网站设计评估中应着重注意的包括网站内容、页面设计及安全性能等三方面的问题 ,同时提出 ,图书馆网站建设中如何在这几方面进行改进和完善。 相似文献
9.
中国科学院力学研究所针对底水疏松砂岩油藏的开发提出梯级筛管水平井及水平分支井完井技术,并在中海石油(中国)有限公司天津分公司的渤海底水油藏开采中成功应用,取得了巨大的经济效益。 相似文献
10.
机载多路视频的记录与回放 总被引:3,自引:1,他引:2
主要介绍机载多路视频记录与四放技术的现状、原理、方法与实验的部分结果和发展趋势。以四路视频源(一个平视显示器(HUD),三个下视显示器)为例,论述记录的方法与回放的方案,给出一些数据和硬件设计的方法。 相似文献