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光栅作为位移、速度和加速度测量的重要器件, 在高精度、高速自动化数控反馈闭环系统有广泛应用。为增强其高速测量的可靠性, 提出了一种直线光栅尺的I-Q平衡式光电编码与解码方法。主光栅和指示光栅平行放置, 光栅常数差别形成莫尔条纹。光电探测单元的每个光电二极管为独立检测通道, 按照固定空间频率莫尔条纹相对相位位置分布, 并经过独立的、按I-Q平衡式编码与解码方程设计放大倍数的直流运放电路放大, 最后按I-Q平衡式编码与解码方程条件分别送入2路加法器, 加法器输出就是标准和通用的2路I-Q正交信号, 符合自动化设备使用标准。该方法使得自动化数控闭环系统的抗光栅表面污染、抗光电二极管分布位置误差和抗低频振动等能力全面增强, 是一种高效、可靠、实用性强的光栅技术。 相似文献
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