SDS-2多功能电子束扫描系统

作者采用模拟与数字相结合的扫描方法,以三角波取代文献[8]中的锯齿波,减小了对偏转放大器高频响应的要求。模拟扫描速度为1mV～100mV/μS;每轴向地址分辨率为15bit;扫描场尺寸、旋转和正交性等都可自动调节。于20×20mm~2扫描场曝光得到2μm平滑斜线。     

瞬态波形采集显示系统

本系统由高速数据采集和显示两部分组成,数据采集部分采样率24MHz,存贮容量8k字节。显示部分具有无闪烁的全屏幕动显功能。全部功能通过硕士学位答辩会。     

多功能电子束曝光机数字控制器

本文介绍一个用于电子束曝光机的数字控制装置,它配备DJS130电子计算机标准接口,不但对电子束曝光机的束点偏移、束闸通断、工作台运动等必要部分进行控制,而且大大增加了图形扫描和工作台定位控制方式,从而可以提高加工精度和速度,此外还设计了一些试验性的控制功能,从而为电子束曝光机的进一步研究提供了方便。     

一个应用于矢量扫描电子束机中的高速动态校零偏转放大器

控制电子束偏转的偏转放大器是电子束机中重要的电子系统之一。它为偏转线圈提供一个正比于输入电压的电流。放大器由一个主放大器和一个辅助放大器组成,主放大器是一个高速运算跨导放大器(OTA),辅助放大器是一个动态校零放大器,它消除了OTA的失调漂移。文章给出了偏转放大器的框图和转入输出关系。该放大器开环增益优于130db,单位增益带宽5M～10M,输出电流±0.5A～±5A,该放大器已成功地工作于作者所在实验室的电子束系统中。     

电子束爆光机的拼图技术

<正> 随着大规模、超大规模集成电路和其它电子器件(如声表面波器件)的飞速发展,其掩膜板的制造出现了超大爆光面积与微细单元图形之间的矛盾。例如一个典型的超高密度存贮器掩膜(～10~6位),就要在10毫米×10毫米的爆光面积上最细线条达1微米,而某些声表面波器件则要求在100毫米甚至更长的距离,最细线条<2微米。这些技术条件不仅是传统的光学工艺所难以完成的,而且由于大扫描场偏转畸变的影响,它也超过了电子束单场扫描的能力。而采取小场拼接的办法,却为解决该问题提供了一个切实可行的途径。图1是用于图形拼接的SDS-1型电子束爆光机的系统框图。工作原理简述如下: 由电子枪发出的一束电子经二级电磁透镜缩小成     

塔里木河的变迁

塔里木河是新疆境内的一条大河。它位于天山南麓、塔里木盆地北缘。上游的阿克苏河、叶尔羌河、和田河为其3条源流。3源流汇合于肖夹克后，即形成了塔里木河干流。这条大河自西向东，流经阿克苏地区、巴音郭楞蒙古自治州的7个县市和15个农垦团场，最终流入台特玛湖。塔里木河干流全长1321公里．历史上早期的塔里木河，曾是塔里木盆地周围天山、帕米尔高原、昆仑山山地十几条大、中河流的归宿。那时塔里木河实际流域面积约34万平方公里，流域多年平均径流量约330亿立方米。全河总长2150公里（叶尔羌河河源至台特玛湖）。据推算，历史上西部5…     

蓄流分离式灌溉模式研究与实践

蓄流分离式灌溉是基于果树园艺类经济作物需水特性和要求。近年提出的节水灌溉新模式。本文综述了蓄流分离式灌溉模式基本原理，阐述了蓄流灌溉系统关键技术一蓄流分离式灌水器，分析了蓄流灌溉模式的节水增产、节能降耗、提升灌溉水温以及解决低水头条件下灌溉均匀性等综合技术效应。     

对科研工作重复的意见

我们在编制科研计划中,统计了19个省、局(所)和高等院校报来的1981年科研计划,发现不少重复项目,如:尚在探索中的高压射流在煤矿应用的研究就有10项,湿式喷浆、光面爆破、锚喷支护、瓦斯、“三下”采煤、矿山压力等项目更多。难度较大的采煤机、煤巷掘进机、钻装机、液压凿岩机等项目都有重复出现。已经鉴定推广使用的,也有的安排了新项目。出现的这些问题有管理问题,也有一、二线研究方向     

计算机控制的快速图形发生技术在电子束扫描系统中的应用

一、引言近几年来,随着电子器件向高频、高集成度方向发展,要求制作最细线条为微米、亚微米级微细图形的掩膜板,普通光学老工艺碰到了难以逾越的困难。而计算机控制的电子束扫描曝光系统,因具有较高的精密度和较好的灵活性,在国内外都获得突飞猛进的发展。超大规模集成电路、磁泡存储器、高频大功率管、微波晶体管、集成光学器件、声表面波器件等,因此相继制造出来。如何改进我国目前的电子束曝光系统,使得在几项主要指标上赶上或超过目前欧美同类机的水平,进而提高生产效率,是我国电子束机的主要研究课题之一。