石英摆片加工过程中若干问题的研究

介绍了石英摆片加工制造过程中若干工艺问题的研究结果。讨论了采用传统加工方法和特种加工方法可能产生的表面缺陷和残余应力.通过对石英摆片材料性质,结构特点和加工机理的分析和研究,提出了保证摆片尺寸和形状精度、表面完整性、强度、使用寿命和可靠性的措施.     

再入加速度计磁摆片研制(1987.11～1991.10)

主要内容:磁摆片是再人加速度计惯性敏感元件,是表的心脏,磁摆材料是性能特别优异的石英玻璃,结构上还镀制有金电极,由于材料特殊、结构复杂、工作环境恶劣、故制做技术涉及面广、工艺难度大、主要采用了半导体平面工艺、玻璃精加工工艺和专用特种工艺等技术。技术指标:磁摆工作刚度小于7-12g/red导通电阻小于5欧姆绝缘电阻大于100兆欧工作温度-40～+55℃     

高温力学性能测试SiC夹具加工工艺研究

工程陶瓷材料具有引人注目的特性:高硬度、高耐热性、化学惰性、热传导率低、断裂韧度低等。然而,这些特性使得陶瓷材料的机械加工,不论是磨削加工或非磨削加工都非常困难,在磨削过程中,工件表面将产生缺陷或裂纹,进而影响工件的强度及可靠性。本文讨论了在SiC夹具制造过程中,各种因素对加工的影响。