甲烷浓度对金刚石膜沉积质量的影响

在10kW微波等离子化学气相沉积装置中,采用甲烷和氢气作为气源,在直径为50mm的P型(100)单晶硅片上进行了不同甲烷浓度条件下金刚石薄膜的制备研究.利用扫描电子显微镜和激光Raman光谱仪对所制备的金刚石膜进行表征.结果表明:较高的甲烷浓度(2%,体积分数)虽然可以加快金刚石膜生长速率,但离解反应气体的能量相对减弱,晶粒尺寸较小;此时原子氢刻蚀作用也会较弱,非金刚石相含量增加,残留的杂质越来越多,金刚石纯度不高,薄膜的质量较差.随着甲烷浓度的降低,金刚石膜(100)晶面充分显现,薄膜质量逐渐变好.然而过低的甲烷浓度(0.5%,体积分数)会导致有利于金刚石生长的含碳活性基团含量降低,使金刚石膜生长缓慢,晶粒尺寸难以长大.     

基于SAP2000的超长大跨度空间结构多维多点地震作用分析

主要介绍了利用SAP2000进行超长大跨度空间结构多维多点地震分析的基本方法。主要包括:多维多点地震分析的基本理论,SAP2000结构模型的建立,分析参数的设置,以及分析结果的处理和利用分析结果进行结构设计。     

甾体化学品生产母液中溶剂丙酮的回收工艺研究

文中对从甾体化学品生产母液中分离回收丙酮的工艺进行了研究,通过减压蒸馏、碱中和、精馏等分离过程得到了纯度为99.26的溶剂丙酮,达到了生产回用要求。同时考察了不同碱对回收工艺的影响。     

林甸县农村砌体房屋抗震性能调查与分析

为了提高农村地区砌体房屋的抗震性能,进而提高农村地区抵御地震灾害的能力,通过对林甸县农村地区砌体房屋抗震性能的现场调查和典型房屋有限元分析,总结了该地区砌体结构房屋普遍存在的问题。结果表明:大多数房屋缺少抗震构造措施,容易造成局部破坏,其中山尖墙与屋盖之间的连接和纵横墙之间的连接以及墙角处是抗震的薄弱部位;提出的改善抗震性能的措施为农村砌体房屋建设提供了参考。     

温度场对金刚石薄膜质量的影响

在引进的韩国微波等离子化学气相沉积（MPCVD）设备中,利用氢气和甲烷作为气源,在单面抛光的（100）单晶硅片上研究了不同的形核温度和生长温度条件下制备出金刚石薄膜。通过Raman光谱、XRD光谱和扫描电子显微镜（SEM）对制备的金刚石膜的质量进行表征。研究结果表明,形核温度和生长温度对金刚石膜的生长均有影响。形核温度过低会增大薄膜中的非金刚石相的含量,促使二次形核增加,降低了金刚石薄膜质量。随着生长温度的升高,金刚石中非金刚石相含量越少,金刚石的质量提高,但金刚石的晶面同时也被大量刻蚀。