Structural evolution and optical characterization in argon diluted Si:H thin films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition

The structural evolution and optical characterization of hydrogenated silicon (Si:H) thin films obtained by conventional radio frequency (RF) plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) through decomposition of silane diluted with argon were studied by X-ray diffractometry (XRD), Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy, Raman spectroscopy, transmission electron microscopy (TEM), and ultraviolet and visible (UV-vis) spectroscopy, respectively. The influence of argon dilution on the optical properties of the thin films was also studied. It is found that argon as dilution gas plays a significant role in the growth of nano-crystal grains and amorphous network in Si:H thin films. The structural evolution of the thin films with different argon dilution ratios is observed and it is suggested that argon plasma leads to the nanocrystallization in the thin films during the deposition process. The nanocrystallization initiating at a relatively low dilution ratio is also observed. With the increase of argon portion in the mixed precursor gases, nano-crystal grains in the thin films evolve regularly. The structural evolution is explained by a proposed model based on the energy exchange between the argon plasma constituted with Ar* and Ar⁺ radicals and the growth regions of the thin films. It is observed that both the absorption of UV-vis light and the optical gap decrease with the increase of dilution ratio.     

eFuture与重庆百货：西南之鹰

重庆百货大楼股份有限公司（以下简称“重百”）始建于1950年,是重庆市最早的国有商业企业。重百于1993年进行了股份制改造,于1996年在上海成功上市,成为重庆市唯一的商业上市公司。经过58年的努力奋斗,公司现已发展成为以百货、超市、电器三大业态为主业,     

非晶硅微测辐射热计热学和力学仿真研究

通过理论计算及有限元方法仿真研究微测辐射热计的热学和力学性能,得出了微桥桥腿尺寸与微桥的热导、热时间常数、桥面温升以及由微桥自身重力引起的位移形变的关系;提出了为了兼顾较好的热学和力学性能,需要选取合适的微桥桥腿尺寸的观点.以像元尺寸50μm×50μm的微桥结构为例,选取了非晶硅微测辐射热计理论上的最佳桥腿尺寸,得到桥腿的热导值5.05×10-7W/K,热时间常数1.18ms,桥面温升34.71mK,最大位移形变量.62×10-4μm.     

a-Si:H薄膜的磷-碳二元复合掺杂改性研究

以SiH4,PH3,CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,通过改变CH4流量制备了磷、碳二元掺杂非晶硅薄膜,研究了磷、碳二元掺杂对薄膜微观结构和光学性能的影响.用X射线光电子能谱仪(XPS)观察到了C-Si峰的存在,同时发现随着CH4流量的增加,薄膜中C元素含量逐渐增大.傅里叶转换红外光谱(FTIR)测试表明,掺杂薄膜中的H含量随着CH4流量的增加逐渐增大,由11.5%增大到24.6%.光学性能测试表明,随着CH4流量的增加,掺杂薄膜的折射率逐渐降低,而光学带隙逐渐增加.     

非晶硅微测辐射热探测器的现状与发展

基于非晶硅薄膜材料的微测辐射热探测器凭借其成本低、结构简单、可大规模生产等优势,在过去十几年间发展迅速,其焦平面阵列由最初的160×120小规模发展到目前的1024×768大规模,像元间距也由50μm减少到17μm。简要介绍了作为微测辐射热探测器的热敏电阻材料的优缺点,重点评述了具有代表性的非晶硅微测辐射热探测器的研究现状及发展趋势。     

IT实现鲜度管理的承诺

永辉集团创办于1998年，投资总额逾20亿元，现有大、中型连锁超市150多家（未含便利店），连锁经营面积超过60万平方米。     

eFuture与苏宁电器：每天处理100万笔订单

苏宁电器连锁集团始创于1990年，历经十余年的努力拼搏，已发展成为遍及全国24个省市地区的大型零售连锁企业集团，成为中国3C（家电、电脑、通讯）连锁零售企业的领先者。     

气体压强对磷掺杂a-Si:H薄膜电学性能的影响

用射频等离子增强化学气相沉积方法(RF-PECVD)制备磷掺杂氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜,研究了辉光放电气体压强(20～80 Pa)对薄膜的暗电导率、电导激活能以及电阻温度系数的影响;利用激光喇曼光谱研究了气体压强对a-Si:H薄膜微结构的影响,并与薄膜的电学性能进行了综合讨论.结果表明:随着辉光放电气体压强的增加,a-Si:H薄膜的暗电导逐步减小,但电导激活能和电阻温度系数都有不同程度的增大;同时,薄膜内非晶网络的短程和中程有序程度逐渐恶化.     

eFuture与华润万家：巨人之剑是怎样炼成的？

华润万家是中央直属的国有控股企业集团——华润（集团）有限公司旗下优秀的零售连锁企业品牌,同时也是中国最具规模的零售连锁企业品牌之一。2008年、华润万家在全国拥有门店2698家,员工人数超过I5万人,实现销售638亿元,位居中国连锁超市第一位。公司旗下目前有大卖场、综合超市、生活超市、生鲜超市、Vango便利超市、Ole及社区购物中心等7种业态。