掺硼CVD金刚石的电加工表面分析

金刚石具有一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能，在高科技领域具有广阔的应用前景。普通CVD金刚石膜是高度绝缘的，不能采用如电火花等加工导电聚晶金刚石(PCD)的方法和设备对其进行加工。本文通过掺硼实现了金刚石膜的导电。开展了电火花成型和线切割的实验研究，并通过SEM、Raman分析和粗糙度测量对加工后的表面进行了分析。     

CVD参数数据采集系统

在CVD金刚石膜生长过程中,衬底温度、热丝电流、反应室真空度和气源流量等是其重要的工艺参数.针对CVD金刚石膜沉积生长中四个重要的工艺参数,本文设计了数据采集系统.选用片内集成模拟量采集模块的8098单片机为下位机,上位机采用工控机,通过RS232串口进行通信.该主从式数据采集系统,硬件配置简单,抗干扰能力强,软件编程方便,人机界面友好.该系统已通过调试,运行良好.     

HFCVD金刚石膜衬底温度的计算机控制

针对CVD金刚石膜生长手动控制的种种不便,在生长系统中引入了计算机控制,实现了用计算机控制生长金刚石膜的衬底温度。详细介绍了计算机控制系统的设计和实现方法。实际运行结果表明,该系统稳定性好、可靠性高,实现了金刚石膜稳定生长。     

真空镀膜法制备纳米铝颗粒膜及其表面等离激元共振特性研究

采用直流磁控溅射镀膜技术制备了纳米铝颗粒膜,并尝试通过两种方式获得纳米铝的表面等离激元共振吸收峰,一种是先在室温石英基底上沉积纳米铝,再进行真空退火;另一种是在热石英基底上沉积纳米铝.用透射电镜和扫描电子显微镜、X-射线光电子谱、紫外-可见吸收光谱表征了样品的形貌和晶态结构、成份和吸收特性.采用比对的方式,研究了基底温...     

磁控溅射靶磁场的有限元模拟分析

磁控溅射靶面磁感应强度的水平分布直接关系到靶材的利用率和刻蚀的均匀性,为了寻求更好的磁控靶结构参数,从而实现靶面水平磁感应强度的均匀分布,本文应用COMSOL软件对JGP450C型磁控溅射镀膜机的圆平面靶表面磁感应强度进行了模拟分析计算,得到了靶面水平磁感应强度较强、分布较均匀的磁铁结构参数。     

掺硼金刚石膜的制备及其应用

金刚石虽然具有极为优异的性能,如具有很大的能隙,高的电子迁移率、空穴迁移率和高热导率,以及负的电子亲和势,但要将它用于半导体材料时还不能直接使用,必须要先进行金刚石的P型和n型掺杂。因此,研究金刚石的P型和n型掺杂具有很重要的现实意义。在金刚石薄膜中掺杂时,一般是掺入硼原子以实现P型掺杂,掺入氮原子或磷原子以实现n型掺杂。然而,由于N和P在金刚石中的施主能级太深,现在n型掺杂金刚石薄膜制备尚不成功,这是金刚石实用化的障碍。本文介绍了金刚石膜掺硼目的、方法和制备,总结了掺硼金刚石膜在微电子、电化学、光电子、工具等领域应用状况以及存在问题。     

基于PLC和组态王的真空检漏回收装置监控

为实现电冰箱整机、空调器及蒸发器和冷凝器等部件在流水线上焊接工序后进行快速检漏和氦气的循环利用,研发了真空检漏回收装置监控系统.该系统采用上下位机控制模式,上位机采用工控机+组态软件,下位机采用OMRON中型CQMIH,充分发挥各自优势,实现了真空检漏回收装置的监控.实际运行表明,系统最小可检漏率达到1×10-3Pa·m3/s,氦气回收率不低于97％.     

真空烧结炉温度模糊控制系统仿真

针对粉末冶金真空烧结炉时变性、大滞后、非线性的特点,采用PID控制效果不理想,选用了模糊控制算法.建立了PID控制和模糊控制仿真模型,进行了对比,结果表明,采用模糊控制后,系统响应速度很快,达到稳态时间仅为3.2 s,不存在超调量,稳态误差为1.2℃,稳态精度很高;系统仿真输出与给定输入波形较接近,系统调节时间短,很快进入稳定状态,且振荡很微小.模糊控制优于传统PID控制,能够满足粉末冶金真空烧结炉温度的控制要求.     

铁路列车真空厕所系统设计

针对我国目前使用的铁路直接排放式厕所不雅观不文明、污染环境、浪费水等问题,设计了真空厕所系统.真空厕所基于真空运输理论,利用真空泵抽取真空室、纳污罐和输送管道内的空气,降低其中的大气压力,一般在0.03MPa～0.05MPa范围内,接入便器,利用界面阀控制便器与管道通断,将粪便吸入至纳污罐,实现了粪便污物的抽吸.由于其冲洗水少,不易堵塞管路,整套系统密封,有效控制臭气外漏,不易污染环境,故其是新一代环保产品.研究了铁路列车真空厕所系统工作原理和工作过程,设计了其控制电路.     

谷物干燥的模糊专家系统控制

针对目前谷物干燥机效率低、自动化程度不高、谷物干燥的速度和烘干品质较低等问题,设计了以知识库为基础的模糊专家系统.介绍计算机控制系统硬件组成和软件实现.实验结果表明,该控制系统运行可靠,使用方便,提高了干燥机自动化程度.