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随着科学技术的迅猛发展以及各行业要求的不断提升,薄膜类Al2O3开始受到瞩目,其需求不断增长。选择价廉易得的无机盐AlCl3为铝前驱体,利用其与水共同作用通过ALD技术沉积制备得到的Al2O3薄膜。该方法沉积温度范围广,在50~400 ℃均能得到致密均一的薄膜(通过SEM表征),相应的沉积速率为0.03~
0.11 nm/次,能够满足各种不同工艺需求。通过XPS对薄膜成分进行分析,经过刻蚀之后,各沉积温度下Al与O的原子百分数之比为2∶(2.89~3.2),与Al2O3十分吻合。所得薄膜杂质总含量小,最低可达1.3%(原子百分数),纯度高。 相似文献
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详实地阐述作者在江南大学化学与材料工程学院担任科研秘书工作的几点体会,主要是提高服务意识与管理水平、熟知管理制度、保存科研档案等方面。通过以上举措,可以有效保障科研工作的开展,为学院和学校科研创新、人才培养和学科建设提供一个良好的服务平台。 相似文献
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3’,3"-十六烷基-2-磺酰酞(十六烷基酚红),是一种以酚红骨架为母体的酚红衍生物,酚红骨架使其具有变色性能,长链烷基使得其具有良好的亲油性,可以与高分子材料牢固结合,从而使其不易被水冲洗掉。其结构通过1H NMR,13C NMR以及元素分析来确定,其变色性能及耐水洗性能通过紫外可见光分光光度计表征,并与具有相同母体并广泛应用与涂层材料中的溴酚蓝作对比,从对比结果来看十六烷基酚红与溴酚蓝颜色接近,耐水洗性能优良,为代替溴酚蓝提供了可能性。 相似文献
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以TiCl_3(3THF)为原料合成脒基钛(Ⅲ)配合物1,将其作为前驱体通过LPCVD沉积N/C-TiO_2薄膜。利用1HNMR、元素分析以及热重分析(TGA)探究配合物1的结构和热化学性质。结果表明,配合物1具有良好的热稳定性和合适的挥发性,满足CVD的要求。通过EDS和UV-Vis吸收光谱表征了薄膜的成分及光学性能,结果表明,当沉积温度为350℃时,N/C-TiO_2薄膜的N、C质量分数最高,其禁带宽度降低为2. 82 e V,对可见光的吸收最强。与纯的二氧化钛薄膜相比,N/C-TiO_2薄膜对亚甲基蓝的降解率显著提高到90%。 相似文献
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