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G·C·Jain等曾对高温扩散到太阳能等级的多晶硅和单晶硅中的硼作过剖面分析:用阳极氧化对硅层逐次减薄,每次减薄后,用四探针法测剩余硅层的薄层电阻,通过对薄层电阻与剩余硅层厚度(距表面深度)关系的测定,求得硼的剖面分布曲线。我们建立了与此相类似的,更为简单易行的剖面分析方法,用化学腐蚀代替阳极氧化,依据实验数据作图,求出杂质分布剖面,并对CVD法制备的多晶硅膜作了硼杂质的剖面分析。此方法虽不如用具有电子枪剥离装置的俄歇(Auger)电子能谱仪作剖面分析快,但操作及设备简单,可代替俄歇能谱作杂质剖面分析。 相似文献
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文章通过在稳定性较差的围岩中煤仓支护施工的实例,介绍了锚网-混凝土联合支护技术的优点及支护效果。 相似文献
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开发了高弹道系数再入飞行器低高度整体回收总体优化设计系统,并利用该系统对作为算例的某回收系统总体方案进行了研究.在传统名义优化设计的基础上,特别考虑了设计变量和系统参数不确定性,结果表明对算例特定的回收对象而言,必须在6 km(海拔)高度启动预减速阶段时抛掉更多的质量,同时还要留出一定的余量以保证高超声速阻力环和超声速伞的起始工作条件(来流马赫数)满足要求. 相似文献