喷射器内胶液流动数值仿真

胶液喷射技术现广泛应用于表面贴装工艺领域。在流固耦合仿真中,对流体动边界的处理是一个难点。利用ANSYS流固耦合作用工具FSI及任意拉格朗日欧拉法对胶液喷射器内胶液流动过程进行了研究。得到喷针运动下胶液喷射器内胶液的压力及速度分布,证明了该方法的有效性,并得出喷针运动直接影响胶液喷射技术实现的结论。     

离子注入静电干扰对刻蚀速率的影响浅析

伴随半导体器件特征尺寸的逐渐缩小,在芯片制作过程中对各种污染缺陷的控制越发重要。离子注入可以达到设计掺杂纯度和注入精度的要求,但与此同时离子注入也具有负面效应,会影响到器件的电性参数和器件的良率。文章主要阐述因离子注入机晶片架内静电干扰导致刻蚀速率发生变化,进而引起缺陷形成的过程。通过改进离子注入机产生静电干扰的位置,达到消除缺陷的目的,为半导体设备传输过程中的升级改进提供有益参考。     

小角度注入条件下离子束水平角度偏差对掺杂分布影响研究

半导体器件离子注入工艺中角度控制是一项关键要求.为保证离子精确地注入到器件结构中,离子束注入角度必须进行精确测量及校正.当半导体器件特征尺寸逐渐缩小,小角度离子注入越来越多的被使用.本文阐述了离子注入角度检测及控制方式,小角度注入条件下沟道效应对掺杂分布影响,通过分析及实验验证,由于位置校准及结构安装等因素导致的水平角...     

玻璃纤维增强聚合物筋压缩和剪切性能试验研究

本文制备了不同直径、不同肋间距以及不同表面形式的玻璃纤维增强聚合物(GFRP)筋.在此基础上,通过玻璃纤维增强聚合物筋的压缩性能和剪切性能试验,研究GFRP筋的破坏形态和机理.分析GFRP筋直径、肋间距、表面形式以及长细比对其抗压强度和剪切强度的影响.试验结果表明,直径的变化对GFRP筋的抗压强度和剪切强度均有一定影响,肋间距和长细比的影响则不明显.     

集成电路离子注入机发展现状与趋势

离子注入机是集成电路制造的核心装备之一,本文重点介绍了当前集成电路领域离子注入机的分类和基本性能参数,描述了其系统组成以及相关的关键技术;同时,基于集成电路发展趋势,分析了集成电路离子注入机的发展趋势.     

树脂改性对玻璃纤维增强聚合物筋材物理力学性能的影响

在基体树脂中加入阻燃剂和抗静电剂可以改善复合材料的阻燃和抗静电性能,同时也会影响复合材料的力学性能。本文通过在不饱和聚酯树脂中加入阻燃剂和抗静电剂,研究了树脂改性对玻璃纤维增强聚合物（GFRP）筋材拉伸性能、压缩性能、剪切性能、抗静电性能和阻燃性能的影响,分析了改性树脂的阻燃和抗静电机理。试验发现,树脂改性对GFRP筋阻燃和抗静电性能有明显提高,压缩强度有所增加,但GFRP筋拉伸性能和剪切性能有不同程度的降低。